LEXT OLS5500 3D 광학 프로파일로미터
다양한 표면, 신뢰할 수 있는 결과
레이저 스캐닝 현미경(LSM), 백색광 간섭계(WLI), 초점 변동 현미경(FVM)을 단일 플랫폼에 통합한 하이브리드 3D 광학 프로파일러로, 정밀한 표면 세부 정보와 추적 가능한 정확도, 직관적인 사용자 경험을 제공하여 발견 단계부터 의사결정 단계에 이르는 워크플로우를 효율화합니다.
- Product Status: 이 제품은 LEXT OLS5100 및 이전 OLS 시리즈 시스템을 대체하는 제품입니다.
LEXT OLS5500 3D 광학 프로파일로미터
산업 적용 사례
학계
반도체
전자
금속 및 재료
뛰어난 정밀 이미징
다양한 표면, 신뢰할 수 있는 결과
수상 경력이 있는 LEXT™ OLS5500은 미묘한 특징과 표면 변화를 탁월한 선명도로 식별할 수 있게 해줍니다. LSM, WLI 및 FVM을 사용하여 결함을 감지하고, 설계를 확인하며, 신뢰할 수 있는 결정을 내릴 수 있습니다.
모든 표면에 걸친 정밀 측정
자체 개발된 대물렌즈는 경사가 심하거나 반사성이 강하거나 복잡한 시료의 경우에도 전체 시야에 걸쳐 선명도와 형상 재현성을 유지합니다. 주변부에서 왜곡이 발생하는 기존 렌즈와 달리, LEXT 렌즈는 중심부터 가장자리까지 정확한 측정값을 제공합니다.
백색광 간섭계 대물렌즈
이 시스템은 평평하거나 경사진 표면에 이상적이며, 어떤 대물렌즈 배율에서도 안정적인 고정 높이 성능을 유지하며 나노미터 단위의 단차를 측정합니다.
프레넬 렌즈 샘플을 기존 WLI 20X 대물렌즈(좌, NA 0.4)와 Evident의 20X WLI 대물렌즈(우, NA 0.6)로 촬영한 비교 이미지입니다.
"LEXT™ OLS5500을 사용하면 고해상도 3D 광학 이미지를 획득하고 미세한 구조물에서 의미 있는 표면 세부 정보를 추출하는 동시에 시료 취급 및 손상 위험을 최소화할 수 있습니다."
퀸즐랜드 대학교 엘리엇 쳉 박사 현미경 및 미세분석 센터
까다로운 시료에서의 우수한 선명도
4K 이미징, 상단 표면 감지 필터, 레이저 DIC, 듀얼 핀홀 광학계, 그리고 고감도 센서가 함께 작동하여 뛰어난 선명도, 대비, 색상 재현력을 제공합니다. 이는 가장 까다로운 샘플에서도 마찬가지입니다.
폴리머 필름의 비교 이미지. 왼쪽: DIC 없는 레이저 이미지. 오른쪽: DIC 적용 레이저 이미지.
레이저 DIC 없이
레이저 DIC 적용
웨이퍼의 비교 스티칭 이미지들 왼쪽: Intelligent Shading Correction 미적용. 오른쪽: Intelligent Shading Correction 적용.
지능형 차광 기능 없음
지능형 차광 기능 적용
이음새 없는 대면적 이미지 획득
대비도가 낮거나 표면이 고르지 않은 곳에서도 스티칭 잔상이 거의 없는 선명하고 신뢰할 수 있는 대면적 이미지를 생성합니다. 지능형 스티칭과 정밀한 스테이지 제어를 통해 정확하고 일관된 광각 촬영 결과를 얻을 수 있으며, 바로 프레젠테이션에 활용할 수 있습니다.
신뢰할 수 있는 측정
정확하고 신뢰할 수 있는 측정
검증된 LSM, WLI 및 FVM 측정을 통해 재시험, 재작업 및 불합격률이 감소합니다. LSM 및 WLI 측정 모두에 대해 정확도와 반복성을 보장하는 세계 최초의 3D 광학 프로파일로미터인 OLS5500입니다*.
*Evident의 내부 조사 결과입니다(2025.10 기준). 보장된 정확도와 반복성은 장치가 제조사의 사양에 따라 교정되고 결함이 없는 상태일 때만 적용됩니다. 교정은 반드시 Evident 기술자 또는 Evident가 인증한 전문가가 수행해야 합니다.
정확도와 반복성의 차이를 보여주는 그림
스티치된 이미지의 정확도 보장
광범위한 영역을 측정할 때, OLS5500은 전동 스테이지와 통합 길이 측정 모듈, 그리고 첨단 패턴 매칭 기술을 결합하여 신뢰할 수 있는 스티치 이미지 데이터를 제공합니다. 이 접근 방식은 지정된 스테이지 조건 하에서 LSM 및 WLI 모두에 대해 추적 가능하고 신뢰도가 높은 스티칭 데이터를 제공합니다.
역량 강화를 위한 서비스 및 지원
귀하의 투자와 연구의 신뢰성을 보호하는 데 있어, 귀하의 요구 사항이 최우선입니다. 저희는 고객이 목표를 달성할 수 있도록 신속한 서비스와 기술 지원을 제공하는 데 전념합니다. 현장 교정, 글로벌 서비스 네트워크, 원격 지원을 통해 규정 준수와 시스템 가동 시간을 유지하세요.
이 모든 서비스는 100년 이상의 현미경 분야 전문성을 바탕으로 제공됩니다.
더 스마트한 워크플로
간편한 정밀 측정을 위한 스마트 자동화
OLS5500의 스마트 자동화 및 워크플로 도구는 모든 수준의 사용자가 표면 분석을 더 쉽고 빠르게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 기울기 조정 지원으로 기울기 교정이 간단해집니다. 한 번의 클릭으로 소프트웨어는 샘플 표면을 수평으로 맞추는 데 필요한 정확한 조정량을 표시합니다.
WLI는 처리량을 최대 42배까지 향상시킵니다.
OLS5500의 WLI는 기존 LSM에 비해 처리량을 최대 40배까지 향상시킵니다. 대물렌즈 배율에 제한받지 않고, 기존에는 LSM의 고배율에서만 확인 가능했던 나노미터급 표면 텍스처를 측정합니다.
샘플: 60 nm 단차 높이, 측정 영역: 1,280 µm. LSM: 데이터 획득 시간: 630초; LSM 50X 대물렌즈(NA 0.95)로 획득한 6×6 스티칭 이미지. WLI: 데이터 획득 시간: 15초; WLI 10X 대물렌즈(NA 0.3)로 획득한 단일 이미지.
VLSI 표준 83 nm 높이 샘플(MPLFLN10LEXT).
빠르고 정밀한 3D 재구성을 위한 PEAK 알고리즘
PEAK 알고리즘은 저배율에서 고배율에 이르기까지 매우 정확한 3D 표면 데이터를 제공하며, 동시에 데이터 수집 속도를 획기적으로 높여줍니다. 계단 높이와 형태를 측정할 때, 불필요한 Z축 범위 스캔을 지능적으로 생략하여 더 빠르게 정확한 결과를 도출합니다.
스마트 데이터 감지
Smart Judge는 신뢰할 수 있는 데이터만 자동으로 감지하여 미세한 높이 불규칙성 데이터를 잃지 않고 정확한 측정값을 제공합니다.
왼쪽: Smart Judge 꺼짐: 오른쪽: Smart Judge 켬.
Smart Judge 꺼짐
Smart Judge 켬
응용 분야
리소스
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