晶圆样品上的电路图案检测

晶圆样品

应用

当需要对晶圆样品的电路图案和颜色进行显微观察时，传统的方法是对前者进行暗场照明、对后者进行明场照明，并在这两种技术之间反复切换。因为在创建报告时需要为每种技术采集图像，所以这种观察方法非常耗时。

奥林巴斯的解决方案

用于执行半导体/FPD检测的MX63/MX63L工业显微镜提供了一种可有效替代传统观察方法的解决方案：MIX 照明功能。利用MIX照明功能，可同时观察晶圆的电路图案和颜色信息。MIX图像的锐度和清晰度可帮助提高工作效率和改进报告生成过程。

产品功能

• 简化的工作流程
  MX63/MX63L显微镜可帮助简化整个检测工作流程，并在洁净室环境中也具有同样高效的性能水平。
• 用户友好界面
  借助用于控制对焦、光强和孔径的各种功能，可方便地调整MX63/MX63L显微镜设置。MX63/MX63L显微镜易于操作，即使是新手操作员也可以在适当的观察条件下进行检测。
• 高级成像技术
  MX63/MX63L显微镜基于数十年丰富光学经验构建，可提供鲜明清晰的图像，有助于确保获得可靠的测量结果。
• 模块化
  MX63/MX63L显微镜采用模块化设计，使用户可以选择丰富的光学元件以满足自己的特定应用需求。无需过多投资即可构建所需的系统。

明场照明
晶圆的颜色可见，但电路图案不清晰。

暗场照明
电路图案清晰，但晶圆的颜色不可见。

MIX照明（明场照明和暗场照明）
可同时观察晶圆电路图案和颜色信息，且具有很高的锐度和清晰度。