无缝化校准，检测量的提高，以及人体工程学的改进所带来的优越性

使用全电动显微镜系统的好处是什么？这个问题问得非常好。通过考察电动化方面的一些选项，我们可以全面回答这个问题。

首先，我们看一看其整体性的好处。当显微镜的所有组件实现了全面电动化时，图像软件完成校准就会流畅无缝。软件可以调整不同物镜之间的焦点偏差，从而可以在变换放大倍率时，使图像始终保持聚焦的状态。软件还可以调整不同物镜之间的XY方向上的图像偏移。这样，即使转换物镜，观察的兴趣点可以始终保持在视场的中心。软件还可以控制载物台XY轴的移动。图像软件还能根据不同的成像方式，以及不同的物镜，将各成像参数设置到最佳条件值。

全电动化的显微镜系统还提高了检测量，这得益于显微镜的许多图像采集步骤实现了电动化。而且，由于可以通过软件将系统设置成简化的工作界面，对操作人员的技能要求也大大降低了。同时，不同技能水平的操作人员采集的图像和测量结果的重复性也得到了提升。通过对软件访问权限的设置，可以仅允许工程级别的操作人员有访问某些功能的权限，而对于一般操作人员，仅给予他们简单的使用权限。

全电动化显微镜系统带来的增值功能和好处还在于增强了显微镜的控制和通信功能，现在我们可以更好地控制显微镜的这些功能：观察方式（明场、暗场、微分干涉）、物镜的选择、照明光源亮度的调节，以及对孔径光阑的控制。这种通过软件或手动开关实现对显微镜的控制，使操作人员得到许多好处，包括：

• 对校准的保证，因为软件会自动识别当前采集图像所使用的物镜。
• 通过在软件中选择观察方式，可以简化显微镜的操作步骤设置。这样就可以根据预先定义的观察条件，自动设置显微镜的所有功能。例如：对于暗场观察条件，可以设置使用暗场分光镜，照明光源的强度调节到最大，将孔径光阑打开到最大位置，转换到暗场物镜，甚至还可以设置一个焦点。
• 对使用图像软件（即：EVIDENT Stream）采集的图像，可以读取和加载当时的显微镜设置参数。这样就可以为系统还原一个与当时采集图像时的显微镜设置完全相同的系统设置。
• 更符合人体工程学的要求，因为操作人员不再需要动手接触显微镜去改变放大倍率或观察方式了。
• 使观察样品免受污染，因为用户不再需要动手在样本之上接触显微镜去手动转换物镜或观察方式了。

全电动显微镜可以有如下配置：

全电动显微镜的机架

• 电动XY轴载物台（如：Prior、LUDL、Marzhauser等）
• 电动Z轴（聚焦）
• 附加的电动聚焦驱动器（如果显微镜的机架上没有电动Z轴装置）
• 电动载物台控制器（可以是一个外置控制箱，也可以是一个内部PC卡）
• XY轴控制杆，还可以控制聚焦
• 用于自动图像采集的数码摄像头
• 控制软件

电动XY轴载物台可以带来以下好处：

• 可以进行图像拼接（MIA）。通过拼接方式可以获取超过视场范围的更大的图像。
• 可以为再次检测设置并保存样品位置点。这个功能常用于晶圆、半导体压膜或线路上的检测点。
• 电动控制非常符合人体工程学的要求，因为用户可以用操控杆将载物台移动到任何位置，或通过软件控制载物台的移动方式和移动量。在需要移动样品时，用户不再需要用手接触到载物台就可以完成操作了。

电动Z轴（聚焦）带来以下操作性能的提升：

• 可以扩展景深（EFI）。通过采集一组Z轴聚焦图像，以生成一幅完全聚焦的图像。非常适用于观察具有较大深度或高度的样品。
• 聚焦图。在XY轴上进行拼接时，这个附加功能可以补偿样品偏离焦点的情况，使用户拼接很大的区域，同时软件还可以使样品始终处于焦点的位置。
• 更加符合人体工程学的要求，现在由于聚焦功能的电动化，用户无需再使用聚焦旋钮完成聚焦操作了。而是使用软件控制或操控杆完成聚焦操作。