使用PRECiV工业显微镜软件实现电子产品制造中的质量控制

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Dr. Christina Hesseling

2022年 4月 14日

半导体和电子元件制造商在其质量控制流程使用工业显微镜。 显微镜可以用于检测缺陷以及目标规格的偏离,例如:

显微镜也用于验证这些复杂的元件是否符合国际标准。 在显微镜下观察内存芯片和微处理器半导体的技术细节,可确保彻底、可靠的检查。

在中心配备全自动数字显微镜的质量控制实验室中,显微镜工作站上的质量控制检查员正在使用PRECiV软件

质量控制流程不仅成本高,而且耗时。因此,制造商不断在寻求优化其质控方法和提高效率的方式。 选择正确的软件控制质量控制用显微镜,可以极大地提高他们的底线。 其中最重要的是,软件必须易用,并可提高工作流程指导,从而确保可靠的结果和可重复的测量,无论操作员的经验如何。

使用我们的半导体检测解决方案控制质量控制的成本

PRECiV软件可优化多个用户的产品检查流程,不仅可以加快检测速度,而且可以标准化显微镜的操作,从而提高结果的可重复性。 以下是PRECiV软件能够协助您控制质量控制成本的5种方式:

1. 轻松易用的系统缩短了缺陷检测时间

简洁、对用户友好的软件界面让显微镜下的图像采集和数据记录变得更加轻松,即使对无经验的用户来说也是如此。 了解PRECiV软件的高动态范围调整和消除光晕等实时图像增强功能如何简化了高分辨率图像的采集和检查:

基础和高级2D测量工具

PRECiV软件为质量控制检查员提供了直接可用的多种2D计数和测量工具组合。 用于缺陷测量的基础工具包括距离、面积、直径、角度和坐标,另外还有其他高级工具:

用于半导体和电子元件图像分析的显微镜测量软件

2. 简化了大型半导体和电子元件的完整检查

PRECiV软件提供对兼容显微镜、电动物镜转盘和显微镜相机的集成控制,包括短波红外(SWIR)技术。 它的实时采集工具进一步扩展了您的成像功能,允许您全面检查大型半导体晶圆和电子元件。

自动聚焦的全景图像

采集手动显微镜视野之外的完全聚焦图像只是PRECiV软件增强测量功能的示例之一。 在电动显微镜上,您也可使用即时模式并按一下按钮即可激活以下自动功能:

了解具体方法:

组合使用全景图和 EFI 功能以获得大幅全聚焦图像

自上而下半导体检测的多个观察选项

PRECiV软件对用户非常友好,所以检查员仅需略微培训即可使用明场、暗场、MIX(明暗场结合)、偏光成像方式以及微分干涉(DIC)观察方法采集和分析图像。 软件对于第三方SWIR相机的集成控制,也允许用户检查带有SWIR波长范围涂层的光学元件。

3. 优化您的材料测量工作流程

为了标准化和提高检查流程的效率,PRECiV软件提供专用的材料解决方案工作流程。 经验不同的用户都会发现这些步骤不仅直观而且简单:

使用工业显微镜用PRECiV软件对半导体芯片进行2D测量

*在PRECiV Pro和PRECiV Desktop中提供。

4. 通过连接性提高效率

配备PRECiV工作站的质量控制团队可通过数据的网络共享和设置来优化及标准化其流程:

5. 实现多用户的整体合规

PRECiV软件支持符合晶圆厂和安全策略的多用户环境。 它的自动功能有助于确保显微镜的所有校准和测量都按国际制造规程执行,从而避免操作员的人为错误。

PRECiV软件是一个模块化的解决方案,可进一步扩展以满足未来的更多需求。 请访问www.olympus-ims.com/microscope/preciv/以了解可用的不同软件包,或联系您本地的奥林巴斯代表以了解详细信息。

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Dr. Christina Hesseling

Product Manager, Industrial Equipment

Christina Hesseling is experienced in product management of system and software solutions involving applied optics, microscopy, computer science, and robotics. From 2020–2023, Christina was a product manager for materials science and industrial equipment at the EVIDENT Technology Center Europe. She enjoys working with researchers and engineers in academia and industry from around the world.