LEXT OLS5500 全新一代精准测量激光共聚焦显微镜
LEXT™ OLS5500是一款屡获殊荣的成像平台，融合了激光扫描显微镜（LSM）、白光干涉仪（WLI）和聚焦变化显微镜（FVM）技术。 该产品专为研发、质量保证和质量控制团队设计，可提供精确的表面细节、可追溯的精度以确保测量的可靠性，以及直观的用户体验以简化工作流程。 由精密光学、可验证校准和智能自动化驱动的可信数据，帮助实验室实现从最初发现到最终判定的无缝过渡。
OLS5500融合LSM、WLI和FVM三种卓越成像技术于一体，在提供便捷操作体验的同时，实现了较传统激光共聚焦显微镜快40倍的检测效率。它也是款为LSM与WLI测量结果提供准确性与重复性*双重保障的三维光学轮廓测量设备。
- Product Status: 本产品可替代 LEXT OLS5100 及更早的 OLS 系列系统。
LEXT OLS5500 全新一代精准测量激光共聚焦显微镜
测量更精准，工作更安心
屡获殊荣的 LEXT™ OLS5500融合了激光扫描显微镜（LSM）、白光干涉仪（WLI）和聚焦变化显微镜（FVM）三种技术于一体，确保清晰、准确地测量样品表面。
精准表面测量的全方位成像解决方案
- LSM： 卓越的横向分辨率，精准测量粗糙纹理、微观结构和陡峭斜面。
- WLI： 纳米级垂直精度，适合测量光滑表面、斜面和薄膜。
- FVM： 从宏观到微观测量全覆盖，适用于测量需要更广视野的大面积或不规则区域。
多种测量方法互为补充—可为每一种表面提供合适的成像模式。 一套系统覆盖从纳米级到毫米级测量、从平坦区域到陡峭斜坡测量，生成全面、真实的表面数据。
采用三种表面计量技术提供射频芯片封装成像。
高清成像，检测更多
左图： 使用传统镜头边缘区域失真会增大，从而影响测量精度。 右图： 使用 LEXT 镜头可以无失真地再现边缘区域，实现高精度测量。
精准测量每一种表面
无论测量倾斜角度大的样品、反射表面还是复杂结构，我们自主研发的物镜能够保持整个视场的清晰度和形状保真度。
激光显微镜物镜
专用 LEXT 物镜能够精准测量边缘区域，克服了传统物镜面临的测量挑战。
从左到右排列的 LEXT 物镜： 长工作距离（20X、50X、100X）、高性能（20X、50X、100X）和低倍率（10X）。
白光干涉物镜
高数值孔径白光干涉(WLI) 物镜（最高可达 0.8 NA）即使在陡峭或纹理表面上，也能产生清晰的干涉条纹和卓越的相位稳定性。
采用传统 WLI 20X 物镜（左图，NA 0.4）和 Evident 20X WLI 物镜（右图，NA 0.6）拍摄的菲涅尔透镜样品对比图像。
采用传统 WLI 50X 物镜（左图，NA 0.55）和 Evident 50X WLI 物镜（右图，NA 0.8）拍摄的菲涅尔透镜样品对比图像。
采用传统 WLI 50X 物镜（左图，NA 0.55）和 Evident 50X WLI 物镜（右图，NA 0.8）拍摄的校准样品对比图像。
揭示不可见细节的清晰度
捕捉传统系统无法显示的关键特征，提高验证速度。 从微小结构和细微表面形貌，到透明表面和低对比度特征，OLS5500 提供多种对比度增强选择，显示隐藏或细微的细节。
- 4K 成像采用高灵敏度传感器，确保实现精细对比度和色彩保真度。
- 激光微分干涉对比 (DIC) 和彩色微分干涉对比 (DIC) 技术能够以惊人的清晰度显示表面形貌和材料边界。
- 上表面检测滤色片可分离出真实表面，消除来自底层的干扰。
聚合物薄膜的对比图像。 左图： 未采用 DIC 的激光图像。 右图： 采用 DIC 的激光图像。
硬盘启停区的对比图像。 左图： 未采用 DIC 的彩色图像 右图： 采用 DIC 的彩色图像。
晶圆的拼接图像对比。 左图： 未采用智能阴影校正。 右图： 采用智能阴影校正。
大面积无缝成像
检查更大区域—同时保持细节和图像完整性。 智能阴影校正可最大限度地减少伪影，并优化拼接图像的光照分布，即使在低对比度或不均匀的表面上也能确保无缝效果。 这种全域范围的清晰度确保了分析结果的一致性。
精准测量，结果更准
准确、可信的测量
采用 LSM、WLI 和 FVM 实现可验证、可追溯的可信测量，减少了重复测试、返工和拒收情况的发生。
准确性和重复性保障
在多种应用中获得一致且高精度的测量结果—OLS5500 是款能够确保 LSM 和 WLI 测量结果准确性和重复性* 的 3D 光学轮廓测量设备。
由 Evident 技术人员进行现场校准，可确保测量结果的准确性和重复性，并带有时间戳记录，从而确保符合国际计量标准。
您测量的每个值都会通过我们可追溯的校准流程进行验证，从而为您提供可在审计、报告和生产检查中使用的具有可追溯性的结果。
* 根据 Evident 截至 2025 年 10 月的内部研究结果。设备必须按照制造商的规格进行校准并且不存在任何缺陷时，方可保证测量的准确性和重复性。 校准必须由 Evident 的技术人员或 Evident 授权的专家执行。
说明准确性与重复性差异的插图。
AIST 标准示例
长度测量模块
测量噪声保障
可信的高度测量——即使是纳米尺度也可以保证高度测量的可信度。 OLS5500 可以保证测量噪声水平* 符合 ISO 25178-700:2022 标准：
- 使用 MPLAPON 100X LEXT 物镜时为 1 nm
- 使用 WLI 物镜时为 0.08 nm
确保即使细微的表面形貌也能被高分辨率地检测，从薄膜到微结构表面都是如此。
*您将获得测量噪声保证证书。 该值是在 Evident 规定的条件下测量的典型值，可能与保证值有所不同。
拼接图像准确性保障
OLS5500 电动载物台配备长度测量模块，保证拼接图像数据的准确性。 传统系统仅依赖于图案匹配，而 OLS5500 结合运用图案匹配与位置反馈，为 LSM 和 WLI 提供高度可靠的拼接数据。
*拼接图像的保证精度仅适用于 100 mm 电动载物台。 （OLS5500-SAF 提供 LSM 和 WLI 两种测量方法，而 OLS5500-EAF 仅提供 LSM）。
赋能服务与支持
为了保护您的投资和研究完整性，我们始终将您的需求放在首位。 我们承诺为您提供及时的服务和技术支持，助力您实现自己的目标。
依托我们的现场校准、全球服务网络和远程支持，以及在显微镜领域逾百年的专业经验，帮助您保持合规性和系统正常运行。
丝滑体验，效率更高
更智能的工作流程，最大化的检测通量
OLS5500 的智能自动化和工作流程工具旨在帮助不同熟练程度的用户更加轻松快捷地进行表面分析。 采用 LSM、WLI 和 FVM 获得一致性强、一步到位的结果，有效提升检测效率和通量。
无缝观察
OLS5500 会在载物台移动时自动生成宏观地图，实时跟踪并记录每个区域，轻松完成测量。 提供连续自动对焦功能，即使在运动过程中也能保持清晰对焦—无需手动重新对焦，避免发生检测中断。
智能自动化，轻松实现高精度测量
OLS5500 自动执行关键测量过程，让您专注于分析，不必为调整分心。
LSM 采用 Smart Scan II功能，可快速轻松地采集数据。 只需将样品放在载物台上，按下启动按钮即可，剩下的工作就由系统自动完成。
PEAK 算法可提供从低倍率到高倍率的高精度数据，并可缩短数据采集时间。 在测量样品台阶形貌时，可以跳过 Z 方向上不必要的扫描范围，减少数据采集时间。
VLSI 标准 83 nm 高度样品 (MPLFLN10LEXT)。
硅表面上的光刻胶图案。 由京都大学纳米技术中心提供。
左图： 关闭智能判定： 右图： 开启智能判定
值得信赖的一致性
使用宏自动执行检查——创建、编辑和运行程序，以获得可靠的结果。 与智能实验管理助手配合使用，只需点击一下鼠标即可做出合格/不合格判定。 报告可以另存为模板，以简化重复测量，并确保所有分析和用户获得一致的结果。
集成了常规金相分析功能、AI 增强型工作流程和高级二维分析功能的 PRECiV™ 软件，支持专业应用和高通量生产环境。
测量速度提升 40 倍，性能毫不妥协
OLS5500 兼具速度和精度。 与传统的激光扫描显微镜（LSM）相比，其先进的白光干涉测量（WLI）模式可将表面测量速度提高达 40 倍，同时不损失精度或可追溯性。
- 非常适合快速工艺验证、设计验证和生产过程抽检。
- 即使对于大型、复杂的样品，也能保持一致的精度。
样品： 60 nm 台阶高度，测量区域： 1,280 µm。
LSM： 数据采集时间： 630 秒；使用 LSM 50X 物镜 (NA 0.95) 采集的 6×6 拼接图像。
WLI： 数据采集时间： 15 秒；使用 WLI 10X 物镜 (NA 0.3) 采集单幅图像。
视场更大，流程更快
节省大样品或复杂样品成像的宝贵时间。 OLS5500 配备高 NA Mirau WLI 物镜，在扩大可测量视场的同时，保持了垂直精度。
- 20X 物镜： 覆盖范围比传统 50X WLI 物镜提高达 6 倍。
- 50X 物镜： 覆盖范围比传统 100X WLI 镜头提高达 4 倍。
每个区域采集的图像更少，这意味着图像拼接步骤也随之减少，从而提高了效率，同时保持了数据的可追溯性和高保真度。
规格
LEXT OLS5500 主机规格
| 型号 | OLS5500-SAF | OLS5500-EAF | OLS5500-LAF | ||
| 总倍率 | 54X ～ 17280X | ||||
| 视场 | 16 µm ～ 5,120 µm | ||||
| 测量原理 | 光学系统 |
反射型共焦激光扫描显微成像 反射型共焦激光扫描 DIC 成像 聚焦变化显微成像、彩色成像、彩色DIC成像 |
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| 白光干涉测量法 | - | ||||
| 光接收元件 | 激光： 光电倍增管（双通道），彩色： CMOS 彩色相机 | ||||
| LSM | 高度 | 重复性 σn-1 *1 *2 *5 | 5X： 0.45 μm，10X： 0.1 μm，20X： 0.03 μm，50X： 0.012 μm，100X： 0.012 μm | ||
| 准确性 *1 *3 *5 | 0.15 + L/100 μm（L： 测量长度 [μm]） | ||||
| 测量噪声*1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | ||||
| 长度 | 重复性 3σn-1*1 *2 *5 | 5X： 0.4 μm，10X： 0.2 μm，20X： 0.05 μm，50X： 0.04 μm、100X： 0.02 μm | |||
| 准确性 *1 *3 *5 | 测量值±1.5% | ||||
| 单次测量时最大测量点数量 | 4096 × 4096 像素 | ||||
| 最大测量点数量 | 4 亿像素 | ||||
| XY 载物台配置 | 工作范围 | 100 mm × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动 | 300 mm × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动 | ||
| 最大样品高度 | 100 mm | 210 mm | 37 mm | ||
| 激光光源 | 波长 | 405 nm | |||
| 最大输出 | 0.95 mW | ||||
| 激光分类 | 2 类（JIS C 6802:2018、IEC60825-1:2014、EN60825-1:2014/A11:2021、GB/T 7247.1-2024） | ||||
| 彩色光源 | 白光LED | ||||
| 电气功率 | 240 W | 278 W | |||
| 质量 | 显微镜主体 | 约 31 kg (68.3 lb) | 约 43 kg (94.8 lb) | 约 50 kg (110.2 lb) | |
| 控制箱 | 约 12 kg (26.5 lb) | ||||
LEXT OLS5500 WLI 规格
最大样品高度
Colspan=2
*1 在 ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983) 规定的恒温恒湿环境（温度： 20 ℃ ±1 ℃，湿度： 50% ± 10%）下使用时可保证。
*2 在使用 10X 或更高倍率专用 LEXT 物镜测量时。
*3 在使用专用 LEXT 物镜测量时。
*4 在使用 MPLAPON100X LEXT 物镜测量时的典型值，可能与保证值不同。
*5 在 Evident 认证体系下可保证。
*6 该值是在 Evident 规定的条件下，使用可追溯至国家标准的 83 nm 台阶高度标样测得的典型值，与保证值不同。 保证值为 0.15+ L/100 μm。
*7 相当于测量噪声。
*8 根据 Evident 规定的条件验证。
LEXT OLS5500 应用软件
*1 包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
*2 包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。
LEXT OLS5500 物镜
资料
应用说明
洞见博客
视频
OLS5100 - 智能实验管理助手容差判断
OLS5100 - 通过宏功能实现工作流程自动化
OLS5100 Smart Scan II
