Messung der Oberflächenrauheit eines Leadframe-Diepads

Leadframe-Diepad

Prüfen der Rauheit von Leadframe-Diepads

Bei der Halbleiterherstellung wird ein Die mit einem integrierten Schaltkreis (IC) aufgenommen und auf das Diepad eines Leadframes montiert. Bevor der IC-Chip endgültig montiert wird, wird ein Klebstoff (Die-Bonding-Paste) auf das Diepad aufgetragen. Je nach dem verwendeten Montageverfahren wird eine leitende oder nicht leitende Die-Bonding-Paste verwendet. Die nicht leitende Paste besteht aus Epoxid-, Polyimid- oder anderen Kunstharzmaterialien. Die Haftfähigkeit der nicht leitenden Kunstharzpaste kann durch eine passende Rauheit des Leadframe-Diepads verbessert werden. Daher ist die Kenntnis der Rauheit des LeadFrame-Diepads der Schlüssel zum Qualitätsmanagement.

Es gibt verschiedene Geräte zur Messung der Oberflächenrauheit einer Substanz, aber nur wenige sind zur Messung der Rauheit eines Leadframes geeignet.

1. Ein Rauheitsmessgerät mit Messtaster kann die Oberfläche beschädigen. Außerdem beträgt der Spitzendurchmesser dieser Taster im Allgemeinen mindestens 2 µm, damit sind sie für die Rauheitsmessung im Mikrometerbereich an einem Objekt, das noch kleiner ist, ungeeignet.
2. Weißlicht-Interferometer haben eine geringe zweidimensionale Auflösung, und die Genauigkeit ihrer Rauheitsmessung zur Erfassung dreidimensionaler XYZ-Daten kann fragwürdig sein.

Die Lösung von Olympus: Rauheitsmessung mit dem OLS5000 Mikroskop

Rauheitsmessungen mit dem LEXT OLS5000 3D-Laser-Scanning-Mikroskop von Olympus sind genauer als lineare Rauheitsdaten allein.

Vorteile bei der Messung der Rauheit eines Leadframe-Diepads

Das LEXT OLS5000 Mikroskop zeichnet sich bei der Messung der Rauheit von Leadframe-Diepads durch folgende Vorteile aus:

1. Bei der Messung der planaren Rauheit mittels Laserabtastung lassen sich genauere Daten erfassen als mit einem Linienabtastmessverfahren mit Messtaster. Durch Data Stitching können auch verschiedene Arten von horizontal zusammengefügten Daten erfasst werden, um die ganze Fläche eines Leadframe-Pads zu messen.
2. Das Pad kann dabei nicht beschädigt werden, da es keinen Kontakt zwischen dem Mikroskop und der Pad-Fläche gibt. Die Messgenauigkeit wird nicht aufgrund von Schäden verringert.
3. Bei einer 3D-Rauheitsmessung mit einer horizontalen Auflösung von 0,12 µm können hochpräzise Daten erfasst werden.
4. Die Rauheit wird nicht nur in Form numerischer Daten, sondern auch in Form von Bilddaten (Farbe, Laser und Höhe) erfasst und angezeigt, sodass sich die Textur überprüfen lässt, wenn die numerischen Daten als Bilder betrachtet werden.
5. Das LEXT OLS5000 Mikroskop legt den Messbereich fest und misst die Rauheit.
   Nach der Messung ist die Gesamtfläche größer als die ebene Fläche, da die Rauheitsflächen zur Fläche des Messbereichs addiert werden. Durch den Vergleich des Messbereichs mit der größeren Fläche nach der Messung ist es möglich, neben den Höheninformationen 3D-Oberflächeninformationen zu berechnen.

Bild

Messbild mit planaren Rauheitsdaten