Anwendungshinweisen

Formauswertung von Photomasken-Linsenarrays, die mit einer Graustufenmaske geformt wurden / Berührungslose 3D-Oberflächenprofilmessung mit Lasermikroskop

1. Anwendung

Bei Graustufenmasken handelt es sich um eine Technologie zur Herstellung von Gussformen für komplex geformte Mikrolinsen oder andere Produkte aus hochwertigen 3D-Mikrostrukturen. Die Graustufenmaske wird für 3D-Muster verwendet; zur Erzeugung des 3D-Musters wird eine Lackschicht in mehreren Stufen mit einem Laser bestrahlt (Abbildung 1). Die Messung der 3D-Form der Lackschicht nach der Bestrahlung ist zur Qualitätskontrolle unerlässlich. Da das 3D-Muster leicht beschädigt werden kann, muss die Integrität durch eine berührungslose Messung überprüft werden.

2. Die Lösung von Olympus

Das LEXT 3D-Laserscanmikroskop von Olympus ermöglicht die berührungslose, dreidimensionale Abbildung der konkaven oder konvexen Form einer Graustufenmaske mit hoher Auflösung und hohem Kontrast. Durch Objektivlinsen mit hoher numerischer Apertur und einem optischen System, das für 405-nm-Laser optimiert ist, kann das LEXT-Mikroskop das Profil unregelmäßiger Konturen genau erfassen und reproduzierbare, zuverlässige 3D-Profile erstellen (Abbildung 1). Neben der Messung der Form von Proben können Anwender auch kleinere Unregelmäßigkeiten durch die Laser-Differentialinterferenz deutlich sichtbar machen.

Konkaves Muster

_{Objektivlinse: 50x 50X, Zoom 1x}

_{Objektivlinse: 50x 50X, Zoom 1x}

_{Objektivlinse: 100x 100X, Zoom 1x}

Konvexes Muster

_{Objektivlinse: 50x 50X, Zoom 1x}

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_{Objektivlinse: 100x 100X, Zoom 1x}

Abbildung 1. Konkave und konvexe Muster unter dem LEXT-Mikroskop

Abbildung 2. Linsenherstellung unter Verwendung einer Graustufenmaske

Schritt 1

Schritt 2

Schritt 3

Verwendete Produkte

LEXT OLS5500

Hybrides 3D-Oberflächenprofilometer

Rückverfolgbare Oberflächenmessungen vom Nanometer- bis zum Mikrometerbereich
Laser-Scanning-Mikroskopie (LSM), Weißlichtinterferometrie (WLI) und Fokusvariationsmikroskopie (FVM) in einer preisgekrönten Plattform vereint
Erstes 3D Optical Profilometer, das für LSM- und WLI-Messungen eine garantierte Genauigkeit und Wiederholbarkeit* bietet
WLI-Modus ermöglicht bis zu 40-fach höheren Messdurchsatz im Vergleich zu herkömmlichem LSM
Außergewöhnliche Präzision über alle Oberflächen hinweg dank firmeneigener, entwickelter Optiken
Intuitive Benutzeroberfläche und intelligente Automatisierung für einen reibungslosen Betrieb – unabhängig vom Erfahrungsniveau des Anwenders
KI-gestützte und hochdurchsatzfähige Workflows durch Integration der PRECiV™-Software

^{*Basierend auf internen Untersuchungen von Evident vom Oktober 2025. Die garantierte Genauigkeit und Wiederholbarkeit geltennur, wenn das Gerät nach den Angaben des Herstellers kalibriert wurde und sich in einwandfreiem Zustand befindet. Die Kalibrierung muss von einem Evident Techniker oder einem von Evident autorisierten Spezialisten durchgeführt werden.}

LEXT OLS5100

Das OLS5100 Laser-Mikroskop wurde für die Fehleranalyse und werkstofftechnische Forschung entwickelt und kombiniert hervorragende Messgenauigkeit und optische Leistung mit intelligenten Werkzeugen, die die Verwendung des Mikroskops vereinfachen. Schnelle und effiziente Messung der Form und Oberflächenrauheit im Submikrometerbereich ermöglichen einen vereinfachten Workflow mit zuverlässigen Daten.