Hersteller von Halbleitern und elektronischen Bauteilen verwenden im Rahmen ihrer Qualitätskontrolle Industriemikroskope, um Fehler und Abweichungen von den angestrebten Spezifikationen zu erkennen, z. B.:

• falsche Anordnung von Bauteilen auf Platinen
• elektrisch leitende Verunreinigungen auf Halbleiterwafern, die ein Kurzschlussrisiko darstellen
• tote Pixel auf Kamerasensoren und Bildschirmen

Außerdem werden die Mikroskope zur Überprüfung genutzt, dass diese komplexen Komponenten internationalen Normen und Standards entsprechen. Nur durch Untersuchung der Speicherchips und Mikroprozessoren unter dem Mikroskop ist eine gründliche und zuverlässige Prüfung gewährleistet.

Die Qualitätskontrolle ist meist ein kosten- und zeitaufwändiger Prozess, weshalb Hersteller ständig bemüht sind, ihre Methoden zu rationalisieren und die Effizienz zu verbessern. Die Auswahl der richtigen Software für die Steuerung der in der Qualitätskontrolle eingesetzten Mikroskope kann dabei eine große Rolle spielen. Zuverlässige Ergebnisse und wiederholfähige Messungen unabhängig von der Erfahrung des Prüfers verlangen eine benutzerfreundliche Software, die den Prüfer Schritt für Schritt durch den Prozess führt.

Kostenkontrolle dank unserer Lösung für die Qualitätsprüfung von Halbleiterprodukten

Die PRECiV Software eignet sich optimal für Produktprüfungen in Umgebungen mit mehreren Benutzern, da sie neben der schnelleren Fehlererkennung die Bedienung des Mikroskops standardisiert und die Wiederholfähigkeit der Ergebnisse verbessert. Im Folgenden sind 5 Möglichkeiten erläutert, wie die PRECiV Software zur Eindämmung der Kosten bei der Qualitätskontrolle beitragen kann:

1. Kürzere Fehlererkennungszeit dank benutzerfreundlichem Design

Mit der übersichtlich gestalteten, benutzerfreundlichen Software können selbst unerfahrene Benutzer mit dem Mikroskop problemlos Bilder aufnehmen und Daten aufzeichnen. Die mit Live-Bildverbesserungsfunktionen wie der Anpassung der HDR-Einstellungen oder der Beseitigung von Lichthöfen ausgestattete PRECiV Software erleichtert die Aufnahme hochauflösender Bilder und die anschließende Prüfung. Dazu bietet sie:

Grundlegende und erweiterte 2D-Messwerkzeuge

Die PRECiV Software bietet Qualitätsprüfern direkten Zugriff auf eine umfangreiche Palette von 2D-Zähl- und Messwerkzeugen. Neben den einfachen Tools zur Messung von Abstand, Fläche, Durchmesser, Winkel, Koordinaten usw. enthält die Software erweiterte Werkzeuge, wie:

• Kantenerkennung zur schnellen Definition von Anfangs- und Endpunkten einer Messung (mit Kontrasterkennung).
• Objektverknüpfung, um vorhandene Messungen mit weniger Klicks wiederzuverwenden.
• Export der Messergebnisse, um die Ergebnisse direkt im gewünschten Format auf ein gemeinsam genutztes Laufwerk zu exportieren.

2. Erleichterung umfassender Prüfungen großer Halbleiter und elektronischer Bauteile

Die PRECiV Software ermöglicht die Steuerung kompatibler Mikroskope, motorgesteuerter Objektivrevolver und Mikroskopkameras, einschließlich kurzwelliger Infrarottechnologie (SWIR). Die integrierten Live-Aufnahmetools erweitern die Bildgebungsfunktionen, um große Halbleiterwafer und elektronische Bauteile vollständig zu untersuchen.

Automatisch fokussierte Panoramabilder

Die Aufnahme von All-in-Focus-Bildern, die über das Sichtfeld manueller Mikroskope hinausgehen, ist nur ein Beispiel dafür, wie die PRECiV Software die Messmöglichkeiten erweitert. Bei motorgesteuerten Mikroskopen steht zudem der Sofortmodus zur Verfügung, in dem die folgenden automatischen Funktionen mit einem Tastendruck aktiviert werden können:

• EFI (Extended Focal Imaging): Nimmt mehrere Bilder auf, wobei unterschiedliche Probenhöhen im Fokus sind, und erstellt ein All-in-Focus-Bild.
• Panorama: Ermöglicht das Bewegen des Objekttisches über die Probe mit anschließendem Zusammenfügen („Stitching“) der aufgezeichneten Bilder zu einem großen Bild.
• Panorama und EFI: Das Panoramabild wird automatisch während der Bewegung des Objekttisches rekonstruiert. Ein farbiger Rahmen gibt einen Hinweis auf die Qualität. Ist das Bild nicht im Fokus, kann der Benutzer das Bild jederzeit neu fokussieren.

Wie dies funktioniert, sehen Sie hier:

Großformatige, vollständig fokussierte Bilder durch Kombination der Panorama- und EFI-Funktion.

Mehrere Untersuchungsoptionen für umfassende Halbleitertests

Die benutzerfreundliche PRECiV Software ermöglicht die Aufnahme und Analyse von Bildern mit den Mikroskopieverfahren Hellfeld, Dunkelfeld, MIX (gerichtetes Dunkelfeld), Polarisation und differenzieller Interferenzkontrast (DIC) ohne aufwändige Schulung der Prüfer. Da auch SWIR-Kameras von Drittanbietern über die Software gesteuert werden können, ist die Prüfung von optischen Komponenten mit Beschichtungen für den SWIR-Wellenlängenbereich möglich.

3. Optimierung des Arbeitsablaufs bei der Materialmessung

Die PRECiV Software umfasst einen speziellen Arbeitsablauf für die Materialprüfung, um diesen Prozess zu standardisieren und effizienter zu gestalten. Unabhängig von ihrer Erfahrung werden die Benutzer einfach und unkompliziert durch die einzelnen Schritte geführt:

• Manuelle Messungen sind einfach und können bei der Durchführung von Reihenmessungen an aufgenommenen Bildern erneut geladen werden.
• Komplexe manuelle Messungen lassen sich mit Hilfswerkzeugen und der automatischen Kantendetektion definieren, um eine zuverlässige Messung zwischen zwei Punkten zu erhalten. ^*
• Bestimmte optionale Lösungen (z. B. Partikelverteilung, Phasenanalyse) bieten eine Schritt-für-Schritt-Anleitung zur Verbesserung der Wiederholfähigkeit.

_{*Verfügbar in der PRECiV Pro und PRECiV Desktop Version.}

4. Effizienzsteigerung durch Konnektivität

Ein mit PRECiV Arbeitsstationen ausgestattetes QK-Team kann seine Verfahren durch die gemeinsame Nutzung von Daten und Einstellungen im Netzwerk rationalisieren und standardisieren:

• Die Bildgebungsbedingungen können zusammen mit jeder Bilddatendatei gespeichert und erneut geladen werden, einschließlich der Kalibrierungsinformationen, die sich in der Kopfzeile der Bilddateien (JPEG) befinden.
• Messparameter, Dateien und andere Einstellungen (Verarbeitung, Materiallösungen, Anmerkungen usw.) können gespeichert und auf jeder PRECiV Arbeitsstation wieder abgerufen werden.
• Zugriffsrechte können definiert werden, damit nur autorisierte Benutzer Systemparameter ändern können.

5. Sicherstellung der Compliance in Umgebungen mit mehreren Benutzern

Die PRECiV Software eignet sich insbesondere für Umgebungen mit mehreren Benutzern, da sie die Einhaltung der Fertigungs- und Sicherheitsrichtlinien sicherstellt. Mit ihren automatisierten Funktionen trägt die Software dazu bei, dass alle Mikroskopkalibrierungen und -messungen in Übereinstimmung mit den internationalen Fertigungsvorschriften durchgeführt und Bedienerfehler vermieden werden.

• Die Kalibrierung der optischen Komponenten wird mit der Funktion Kalibrierung der automatischen Vergrößerung unter Verwendung eines geeichten, rückverfolgbaren Mikrometers überprüft.
• Verschiedene Materiallösungen führen die Benutzer durch den Arbeitsablauf, von der Bildaufnahme bis zum Export von Berichten, die den internationalen Normen und Standards entsprechen.
• Alle Messanalysen können als Excel-Datei (direkte Dateispeicherung) oder direkt als Bericht exportiert werden.

Die PRECiV Software ist eine modulare Lösung, die je nach zukünftigen Anforderungen erweitert werden kann. Besuchen Sie www.olympus-ims.com/microscope/preciv/, um sich über die verschiedenen verfügbaren Softwarepakete zu informieren, oder wenden Sie sich an Ihre Olympus Vertretung vor Ort, um weitere Informationen zu erhalten.