Perfilómetros ópticos 3D para metrología de superficies
Datos de superficie confiables. Exactitud que podemos demostrar.
Los perfilómetros ópticos 3D utilizan la medición sin contacto para capturar datos de superficie de alta precisión, lo que los hace ideales para piezas delicadas o complejas en ciencia de materiales, I+D y control de calidad en la fabricación. Los perfilómetros ópticos 3D de Evident establecen un nuevo estándar en la medición de superficies de precisión, brindando confianza en las mediciones con detalles de superficie precisos, exactitud trazable y automatización inteligente.
Combinando la microscopía de escaneo láser (LSM), la interferometría de luz blanca (WLI) y la microscopía de variación de enfoque (FVM), nuestros galardonados perfilómetros ópticos 3D ofrecen detalles de superficie fieles a la forma en geometrías complejas. Identifique características sutiles y variaciones de superficie con una claridad inigualable: utilice LSM, WLI y FVM para detectar defectos, confirmar diseños y tomar decisiones confiables que ayuden a mejorar la calidad y el rendimiento del producto.
Sistemas de perfilómetros ópticos 3D
LEXT OLS5500
Perfilómetro óptico 3D híbrido
- Mediciones de superficie trazables de nanómetros a micrómetros
- Microscopía de escaneo láser (LSM), interferometría de luz blanca (WLI) y microscopía de variación de enfoque (FVM) en una sola plataforma galardonada
- Primer perfilómetro óptico 3D que ofrece exactitud y repetibilidad garantizadas* tanto para mediciones LSM como WLI
- El modo WLI ofrece un rendimiento de medición hasta 40 veces superior al del LSM convencional
- Excepcional precisión en todas las superficies gracias a la óptica de diseño propio
- Interfaz intuitiva y automatización inteligente agilizan la operación para usuarios de todos los niveles
- Flujos de trabajo mejorados por IA y de alta productividad con integración del software PRECiV™
* Según la investigación interna de Evident a octubre de 2025. La exactitud y repetibilidad garantizadas son válidas únicamente si el dispositivo se ha calibrado según las especificaciones del fabricante y se encuentra libre de defectos. La calibración debe llevarla a cabo un técnico o un especialista autorizado de Evident.
Aplicaciones e industrias del perfilómetro óptico 3D
Los perfilómetros ópticos 3D de Evident respaldan múltiples sectores industriales mediante la medición precisa de superficies sin contacto. Desde semiconductores hasta polímeros, proporcionan datos fiables en control de calidad, investigación y producción de materiales y componentes avanzados.
Semiconductores y MEMS
Los perfilómetros ópticos 3D son ideales para inspeccionar obleas de semiconductores y componentes MEMS. Proporcionan mediciones precisas de la rugosidad superficial de la oblea, la altura de escalón y el ancho de línea de patrones finos. Estas herramientas también pueden detectar microfisuras y contaminación superficial sin dañar características delicadas.
Imagen WLI de una oblea de carburo de silicio (SiC).
Imagen WLI de una placa de circuito impreso.
Productos electrónicos
En la fabricación de productos electrónicos, los perfilómetros ópticos 3D ayudan a los usuarios a controlar la rugosidad superficial de las pistas de cobre y a identificar grietas o defectos en las placas de circuitos impresos (PCB). El método sin contacto garantiza un análisis fiable de superficies complejas y sensibles.
Polímeros y materiales compuestos
Los perfilómetros ópticos 3D se utilizan para medir el espesor de películas transparentes, analizar la rugosidad superficial y detectar defectos en películas de polímeros y materiales compuestos. La obtención de imágenes 3D de alta resolución es especialmente valiosa para la caracterización de materiales en capas o blandos.
Imagen LSM de una película de polímero.
Imagen LSM de una bola de rodamiento.
Metales y aleaciones
La perfilometría óptica 3D ofrece un análisis rápido y sin contacto de la rugosidad superficial y el tamaño de grano en metales y aleaciones. Apoya los procesos de control de calidad al capturar datos topográficos detallados que ayudan a evaluar el desgaste, el acabado y la consistencia del material.
Comparación de técnicas de metrología de superficies
Cada técnica de metrología de superficies en perfilometría óptica 3D ofrece ventajas únicas para explorar la forma, la textura y los detalles finos de sus muestras.
Microscopía de escaneo (barrido) láser (LSM)
Este método tiene una alta resolución de medición tanto en la dirección horizontal como en la vertical y permite mediciones equilibradas.
Adecuado para medir texturas superficiales finas desde submicras hasta varios cientos de micras.
También se pueden medir formas con ángulos pronunciados.
Interferometría de luz blanca (WLI)
Adecuado para superficies lisas e inclinadas y para medir escalones del orden de nm.
Se puede obtener un rendimiento uniforme de medición de altura a cualquier aumento del objetivo.
Microscopía de variación de enfoque (FVM)
Adecuado para capturar la forma macroscópica de la muestra.
Al combinar FVM con LSM o WLI, es posible obtener la forma de las muestras desde macro hasta microestructuras.
¿Por qué elegir los perfilómetros ópticos 3D EVIDENT?
Experiencia óptica comprobada
Desarrollada a partir de un siglo de excelencia óptica, la óptica Evident diseñada internamente ofrece una claridad incomparable para revelar detalles precisos de la superficie en diversas geometrías: zonas planas, patrones irregulares, pendientes pronunciadas y texturas finas. Los objetivos específicos para microscopía láser y los objetivos WLI de alta NA proporcionan imágenes de alta fidelidad, mientras que las opciones de mejora del contraste revelan detalles sutiles u ocultos.
Izquierda: Con lentes convencionales, la distorsión aumenta en la periferia y afecta la exactitud de la medición. Derecha: Con las lentes LEXT, la periferia se reproduce sin distorsión para obtener mediciones precisas.
Paquete de RF visualizado mediante tres técnicas de metrología de superficie.
Solución completa de imagenología
Tecnología híbrida que combina tres técnicas de metrología de superficies –microscopía de escaneo láser (LSM), interferometría de luz blanca (WLI) y microscopía de variación de enfoque– para una resolución a nivel nanométrico en pendientes pronunciadas y características de alta relación de aspecto. Mida cualquier muestra, desde nanómetros hasta milímetros, ya sea plana o irregular, con WLI (vertical), LSM (lateral) y FVM (desde macro hasta micro), todo en una sola plataforma fácil de usar.
Medición sin contacto y trazable
La luz, no el contacto físico, captura los datos de la superficie, lo que hace que los perfilómetros ópticos 3D de Evident sean ideales para materiales delicados, recubrimientos delgados y dispositivos MEMS. A diferencia de los perfilómetros de palpador, eliminan el riesgo de dañar la superficie. Todas las mediciones se validan mediante nuestro proceso de calibración trazable, lo que proporciona resultados que puede defender en auditorías, informes y revisiones de producción. Nuestro Evident LEXT™ OLS5500 garantiza niveles de ruido de medición* compatibles con la norma ISO 25178-700:2022 (1 nm con objetivos MPLAPON 100X LEXT™ y 0,08 nm con objetivos WLI) para la detección de alta resolución de cambios topográficos sutiles.
Ejemplo de diagrama del sistema de trazabilidad para el estándar AIST.
* Recibirá un Certificado de garantía de ruido de medición. Este es un valor representativo cuando se mide bajo las condiciones especificadas por Evident y es diferente al valor garantizado.
* La exactitud y repetibilidad garantizadas solo son válidas si el dispositivo ha sido calibrado de acuerdo con las especificaciones del fabricante y se encuentra en estado libre de defectos. La calibración debe llevarla a cabo un técnico o un especialista autorizado de Evident.
Exactitud y repetibilidad garantizadas
Obtenga mediciones consistentes y de alta precisión en aplicaciones de metrología superficial con el primer perfilómetro óptico 3D del mundo, que garantiza exactitud y repetibilidad* tanto en mediciones LSM como WLI: el Evident LEXT™ OLS5500. Nuestros perfilómetros ópticos 3D garantizan que toda superficie pueda medirse con claridad y precisión, con calibración verificable y registros con marca de tiempo.
Alta capacidad de procesamiento con automatización
El software intuitivo y la automatización inteligente permiten obtener resultados rápidos, fiables y repetibles a gran escala. Las plataformas motorizadas, las macros, la captura de imágenes de gran área sin interrupciones y el análisis por lotes ayudan a reducir la carga de trabajo del operador y a acelerar el control de calidad. El modo WLI del OLS5500 incrementa esta eficiencia, proporcionando una velocidad de medición 40 veces más rápida que la microscopía láser de barrido convencional.
Automatice inspecciones con macros: cree, edite y ejecute procedimientos para obtener resultados fiables.
Haga más en metrología 3D con el software PRECiV.
Ecosistema de software avanzado
Análisis intuitivo con parámetros de rugosidad automáticos (normas ISO, JIS), visualización 3D y generación de informes. La integración del software PRECiV™ incorpora metalografía de rutina, flujos de trabajo mejorados con IA y análisis 2D avanzado para admitir aplicaciones especializadas y entornos de producción de alto rendimiento.
¿Cómo funcionan los perfilómetros ópticos?
El perfilómetro óptico 3D LEXT OLS5500 incorpora dos sistemas ópticos, uno para imagen en color y otro confocal por láser, que le permiten captar información de color y de forma, así como imágenes de alta resolución.
Imagen en color
La óptica de imagen en color adquiere información utilizando una fuente LED de luz blanca y un sensor de imagen CMOS. Esto permite una reproducción precisa del color y una visualización clara de las características superficiales.
Información de forma 3D e imágenes de alta resolución
La óptica confocal láser adquiere imágenes LSM utilizando una fuente de luz de diodo láser de 405 nm y un fotomultiplicador de alta sensibilidad. En WLI, la información de altura se obtiene a partir de las franjas de interferencia generadas cuando la luz blanca de una fuente es dividida por un divisor de haz dentro de la lente objetivo y reflejada tanto en la superficie de la muestra como en una superficie de referencia. FVM determina la información de altura identificando la posición Z en la que el contraste de la imagen alcanza su máximo.
Preguntas frecuentes sobre los perfilómetros ópticos 3D
Recursos del perfilómetro óptico 3D
Portal de medición de la rugosidad superficial
Explore nuestro portal de medición de la rugosidad superficial para obtener información y herramientas que le permitan cuantificar con precisión la textura microscópica de las superficies.
Medición de la rugosidad superficial: parámetros
Desde el método de perfil hasta el método de área, explore parámetros clave de rugosidad para comprender y cuantificar la textura de la superficie con precisión.
Cómo evaluar los parámetros de medición de la rugosidad superficial
Profundice en técnicas prácticas para interpretar parámetros clave de rugosidad superficial para el análisis de textura 3D.