Notes d’application
極細チューブ加工の品質管理－レーザー顕微鏡による微細エリア表面粗さ解析
アプリケーション
さまざまな製品の小型化への要求が高まる中で、それに用いる部品もさらなる小型化が求められています。半導体検査用のプローブカードや、医療機器で使用されるような極細の金属チューブもその一つです。現在では、最も細いもので人間の髪の毛よりも細い直径10μmという超極細の金属チューブも製造が可能になってきました。このような極細金属チューブの製造においては、曲げ加工や絞り加工時の表面形状や、表面への放電加工の状態、切断面の状態などを精度良く管理していく必要があります。しかし加工箇所が極小なので、これまでの解析方法では正しい評価ができないという課題がありました。
オリンパスのソリューション
オリンパスの3D測定レーザー顕微鏡 LEXTは、レーザーで微小な測定部位をスキャンして微細な表面形状や表面粗さを測定する顕微鏡です。非接触で測定するメリットを活かし、接触式のプローブのアプローチが非常に困難な微細な領域の形状もリアルに再現することができます。平面分解能は0.12μm、段差分解能5nmで、測定精度はトレーサブルです。
金属チューブ表面
対物レンズ20x ズーム1x
対物レンズ100x ズーム8x
切断断面評価
対物レンズ20x ズーム1x
対物レンズ100x ズーム2x
Produits utilisés pour cette application
LEXT OLS5500
白色干渉計搭載 3D 測定レーザー顕微鏡
- ナノからサブミクロンまでのトレーサブルな高精度測定
- レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションの3つの機能を1台に搭載
- レーザー顕微鏡および白色干渉計の双方で「正確さ」と「繰り返し性」を保証する世界初*のハイブリッドシステム
- 白色干渉計では、従来のレーザー顕微鏡と比べて最大40倍の測定スループットを実現
- 自社設計の光学技術により、あらゆる表面解析において信頼性の高い測定が可能
- 直感的なインターフェースとスマートなワークフローにより、観察から測定までの一連の業務を効率化
- PRECiV™ソフトウェアによる専門的な解析アプリケーションにも対応可能
*2025年10月時点、当社調べによる
LEXT OLS5100
LEXT OLS5100は、非接触・非破壊で微細な3D形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。 サブミクロンオーダーの微細な形状測定に優れ、スタートボタンを押すだけでオペレーターの習熟度に左右されない測定結果を得ることができます。 また、新開発の『実験トータルアシスト』により、実験計画作成からデータ取得・解析、分析・データ出力までを一括管理することで、人為的なミスを低減し、手戻りを防ぎます。ISO/IEC 17025認定校正に対応しています。