アプリケーションノート
フレキシブルプリント基板フィルム表面粗さ測定
背景
電子機器の小型化高機能化の進行に伴い、フレキシブルプリント基板の微細化の要求も年々進んできています。フレキシブルプリント基板上の銅配線の微細化にともない、フィルムの表面粗さがその性能に大きく影響を及ぼすようになってきています。銅配線を生成する為に銅箔層を絶縁体である樹脂基板上に生成した後、エッチング処理でパターン化しますが、銅箔の密着性を高めるためには樹脂表面に適度な粗さが必要です。
オリンパスのソリューション
オリンパスの3D測定レーザー顕微鏡LEXTは平面分解能0.12μ、段差分解能5nmで、超高解像で凹凸が微細なフィルム表面粗さも正確に測定することができます。もちろん非接触で粗さを測定できるので、柔らかいフィルム表面に傷をつけることもありません。
商品の特徴
- 超高分解能高解像な3D観察
- 高い斜面の検出感度
- 非接触面粗さ測定機能
画像
銅表面の高分解能画像と3D画像
関連製品
LEXT OLS5500
白色干渉計搭載 3D 測定レーザー顕微鏡
- ナノからサブミクロンまでのトレーサブルな高精度測定
- レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションの3つの機能を1台に搭載
- レーザー顕微鏡および白色干渉計の双方で「正確さ」と「繰り返し性」を保証する世界初*のハイブリッドシステム
- 白色干渉計では、従来のレーザー顕微鏡と比べて最大40倍の測定スループットを実現
- 自社設計の光学技術により、あらゆる表面解析において信頼性の高い測定が可能
- 直感的なインターフェースとスマートなワークフローにより、観察から測定までの一連の業務を効率化
- PRECiV™ソフトウェアによる専門的な解析アプリケーションにも対応可能
*2025年10月時点、当社調べによる
LEXT OLS5100
LEXT OLS5100は、非接触・非破壊で微細な3D形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。 サブミクロンオーダーの微細な形状測定に優れ、スタートボタンを押すだけでオペレーターの習熟度に左右されない測定結果を得ることができます。 また、新開発の『実験トータルアシスト』により、実験計画作成からデータ取得・解析、分析・データ出力までを一括管理することで、人為的なミスを低減し、手戻りを防ぎます。ISO/IEC 17025認定校正に対応しています。