LEXT OLS5500 白色干渉計搭載 3D測定レーザー顕微鏡

信頼できる表面解析、確かな測定精度

OLS5500は、レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションの3つの測定技術を1台に統合した、高性能なハイブリッドシステムです。あらゆる表面性状解析において正確かつ高精度な測定を提供します。さらに直感的な操作性を実現し、研究開発から意思決定までのワークフローを効率化します。

Product Status: 本製品は、LEXT OLS5100及び旧OLSシリーズの後継機種です。

LEXT OLS5500
白色干渉計搭載
3D測定レーザー顕微鏡

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アプリケーション事例

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電子部品

金属・素材

比類なきイメージングソリューション

信頼の測定技術であらゆる表面を解析

OLS5500は、レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションの3つの技術を1台に統合した、高性能なハイブリッドシステムです。あらゆる表面性状解析において正確かつ高精度な測定を提供します。

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あらゆる表面を細部まで鮮明に

平面から複雑な凹凸、急な傾斜や微細な質感まで、LEXT™OLS5500は真の表面形状を高精度に可視化します。自社で設計・開発したレーザー顕微鏡専用対物レンズと、高NAの白色干渉対物レンズを搭載することで、さまざまな形状のサンプルを忠実にイメージングし、観察・測定の信頼性を高めます。

白色干渉対物レンズ

エビデントの高開口数（NA）白色干渉対物レンズは、急斜面などの複雑な3D構造を持つ形状も正確に捉えることが可能です。

詳細情報はこちら

_{一般的な白色干渉対物レンズ20X（左：NA 0.4）と}

_{エビデントの白色干渉対物レンズ20X（右：NA 0.6）}

_{によるフレネルレンズの比較画像}

「LEXT™ OLS5500を使用することで、高解像度の3D光学画像を取得し、試料の取り扱いや損傷のリスクを最小限に抑えながら、微細な構造や表面性状を解析することができます。」

クイーンズランド大学顕微鏡・微細構造解析センター

エリオット・チェン博士

見えなかったものを可視化する

微細な構造やわずかな凹凸、透明素材や低コントラストのサンプルなど、従来の装置では捉えきれなかった表面の情報を鮮明に可視化します。4Kスキャンテクノロジー、最表面検出フィルター、レーザーDIC、デュアルコンフォーカルシステム、高感度のイメージセンサーなどの先進技術により、難しいサンプルでも高い鮮明度とコントラスト、そして忠実な色再現を実現します。

用途事例

ポリマーフィルムの比較画像左：レーザー観察画像、右：レーザーDIC 観察画像

レーザー観察画像

レーザーDIC観察画像

ウエハサンプル上のパターンの貼り合わせ比較画像

左：インテリジェントシェーディング補正なし

右：インテリジェントシェーディング補正あり

インテリジェントシェーディング補正なし

インテリジェントシェーディング補正あり

広い領域も、つなぎ目なく鮮明に

インテリジェントシェーディング補正機能により、コントラストが低いサンプルや明るさにムラがある場合でも、貼り合わせ撮影時の画像の継ぎ目が目立たないように自動で補正します。広範囲の観察においても細部まで高精度に可視化することで、正確な検査を可能にします。

揺るぎない測定品質

正確で信頼性の高い測定

レーザー顕微鏡、白色干渉計における設置環境下での校正により、信頼性の高い測定精度を提供します。

“正確さ”・“繰り返し性”のダブル保証

OLS5500は、レーザー顕微鏡と白色干渉計の両方で、「正確さ」と「繰り返し性」*を保証する世界初の白色干渉計搭載3D測定レーザー顕微鏡です。エビデントの専門技術者が設置環境での校正を行い、校正証明書を発行します。

_{^{*「正確さ」および「繰り返し性」の保証は、装置がメーカー仕様に基づいて適切に校正された場合に限り有効です。校正は、エビデントの技術者または当社認定の技術者によって実施する必要があります。}}

測定ノイズの保証

OLS5500は、ISO25178-700:2022に準拠した測定ノイズレベルを保証し、ナノレベルの高さも、確かな測定を提供します。MPLAPON 100X LEXT™対物レンズでは1nm、白色干渉対物レンズでは0.08nmという極めて低いノイズレベルを達成し、微細な凹凸や形状変化も高精度に捉えます。

_{^{*出荷検査時の検査成績書を同梱致します。当社指定条件により測定した場合の代表値であり、保証値とは異なります。}}

ISO/IEC 17025認定校正

2023年4月、エビデント顕微鏡校正ラボラトリは世界で初めて*レーザー顕微鏡の現地校正でISO/IEC 17025：2017認定をJAB(日本適合性認定協会)から受けました。これによりILAC MRAシンボルマーク付き校正証明書を発行し、計量トレーサビリティを確保することが可能となりました。認定取得以前から実施している当社独自基準による現地校正も可能です。

_{^{*2023年4月時点、当社調べによる。}}

Traceability system chart for the AIST standard.

貼り合わせデータの正確さを保証

OLS5500は、電動ステージに測長モジュールを搭載することで、貼り合わせ撮影時の位置情報を正確に取得します。一般的なレーザー顕微鏡や白色干渉計では、パターンマッチングのみを用いて画像を貼り合わせていましたが、OLS5500では位置情報を併用することで、両方式において貼り合わせデータの正確さを保証します。

安心のサービス・サポート体制

お客様の研究・開発における信頼性を守るため、私たちは常にお客様のニーズを最優先に考えています。製品に対する確かな信頼とともに、迅速なサービスと技術サポートを通じて、お客様の目標達成を力強く支援します。

当社は専門の技術者がお客様の使用環境下で組立、調整を行い、測定性能を保証します。世界各地に広がるサービスネットワーク、そして迅速なリモートサポートにより、お客様の装置の安定稼働をしっかりと支えます。

誰でもすぐに、スマートに測定

スマートなワークフローでスループットを最大化

使いやすいソフトウェアとスマートな自動化機能により、専門知識がなくても、誰でもスピーディかつ安定した測定結果を得ることができます。白色干渉計測定時に必要なステージの傾き補正においては、傾き調整アシスト機能により、ソフトウェア上の「開始」ボタンをクリックするだけでサンプル表面を水平にするために必要な調整量を表示します。このガイダンスに従ってステージを操作するだけで正確な調整が完了します。

スマートな自動測定についてより詳しく見る

従来比42倍の高速な測定スループット

従来のレーザー顕微鏡では高倍率の対物レンズでしか捉えられなかったナノメートルの高さ形状も、白色干渉計では対物レンズの倍率に依存することなく、広い視野で効率的に取得することが可能です。

Surface measured with the LEXT 3D optical profilometer.

_{サンプル： 60 nm 段差、測定範囲： 1,280 µm}

_{レーザー顕微鏡：データ取得時間：630秒；レーザー顕微鏡 50X対物レンズ（NA 0.95）で取得した6×6貼り合わせ画像}

_{白色干渉計：データ取得時間：15秒；白色干渉計 10X対物レンズ（NA0.3）による単一画像取得}

_{VLSI 標準サンプル高さ83nm (MPLFLN10XLEXT）}

ボタンひとつで信頼性の高いデータ取得

サンプルをステージに置いてスタートボタンを押すだけで、Smart Scan IIが光検出感度や取得範囲を自動で設定してくれるため、誰でも高精度な測定が可能です。3Dデータ構築にはPEAKアルゴリズムを採用。低倍率から高倍率まで高精度なデータが取得できるだけでなく、データ取得時間の大幅な短縮も実現しています。垂直に近い面を含む段差形状の測定では、不要なZ方向のスキャンをスキップすることで、精度を損なうことなく測定時間を短縮できます。

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