애플리케이션 노트
초미세 튜브 작업 시 품질 관리 / 레이저 현미경을 이용한 미세 영역의 표면 거칠기 분석
애플리케이션
소형 제품에 대한 수요가 계속 증가하고 있기 때문에 이러한 제품에 사용되는 부품의 크기도 작아지고 있습니다. 반도체 검사를 위한 프로브 카드와 의료 장비용 초미세 금속 튜브 등이 이러한 부품에 해당됩니다. 현대 기술로는 인모의 직경보다 작은 10μm의 초미세 금속 튜브를 제작하는 것이 가능합니다. 이와 같은 초미세 금속 튜브 제조 과정에서 굽힘 및 추출 공정, 표면 전기 방전 가공 상태, 절삭면의 상태를 정확하게 모니터링할 필요가 있습니다. 그러나 이러한 상태를 모니터링하는 것은 가공 부위가 매우 작기 때문에 기존 분석 방식으로는 올바르게 평가하는 것이 어려워 문제가 있습니다.
Olympus 솔루션
Olympus 3D 스캐닝 레이저 현미경 LEXT는 레이저를 사용하여 미세 영역의 표면 프로필 또는 거칠기를 계측합니다. 현미경의 비접촉 레이저 스타일러스는 접촉식 프로브를 사용하면 불가능한 미세 영역의 형체를 정확하게 재현할 수 있습니다. 수평 해상도는 0.12μm이며 스텝 해상도는 5nm입니다. 계측 정확성은 추적이 가능합니다. 이 기능을 통해 작은 부품의 표면 프로필도 효과적으로 모니터링하는 것이 가능합니다.
금속 튜브 표면
20X 대물 렌즈, 1x 확대/축소
100X 대물 렌즈, 8x 확대/축소
절단면 평가
20X 대물 렌즈, 1x 확대/축소
100X 대물 렌즈, 2x 확대/축소
이 애플리케이션에 사용되는 제품
LEXT OLS5500
하이브리드 3D 광학 프로파일로미터
- 나노미터에서 마이크로미터까지 추적 가능한 표면 측정
- 레이저 주사 현미경(LSM), 백색광 간섭법(WLI), 포커스 베리에이션 현미경(FVM)을 하나의 수상 경력에 빛나는 플랫폼에 통합
- LSM 및 WLI 측정 모두에 대해 정확도와 반복성을 보장하는 최초의 3D 광학 프로파일로미터*
- WLI 모드는 기존 LSM보다 최대 40배 빠른 측정 처리량 제공
- 자체설계된 광학으로 표면 전반에 걸쳐 탁월한 정밀도 제공
- 직관적인 인터페이스와 스마트 자동화로 모든 수준의 사용자가 손쉽게 작업 가능
- PRECiV™ 소프트웨어 통합을 통한 AI기반의 스마트 워크플로우와 고효율 측정 프로세스 지원
*Evident의 내부 조사 결과입니다(2025.10 기준). 보장된 정확도와 반복성은 장치가 제조사의 사양에 따라 교정되고 결함이 없는 상태일 때만 적용됩니다. 교정은 반드시 Evident 기술자 또는 Evident가 인증한 전문가가 수행해야 합니다.
LEXT OLS5100
LEXT™ OLS5100 레이저 스캐닝 현미경은 뛰어난 정확도와 광학 성능을 스마트 도구와 결합하여 시스템을 간편하게 사용할 수 있도록 합니다. 미크론 단위 미만 수준에서도 형상과 표면 거칠기를 정확하게 측정하는 작업은 신속하고 효율적이어서 워크플로를 단순화하고 신뢰할 수 있는 고품질 데이터를 제공합니다.