기술 청정도 워크플로우 분류 4부: 오염 수준 계산

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Hamish Rossell

2018년 4월 19일

표준 청정도 측정치 비교

이 6부작 블로그 시리즈 중 4부에서는 청정도 코드 정의, 최대값 승인 테스트 등 오염 수준 계산 방법을 살펴봅니다. 다음은 전체 기술 청정도 검사 프로세스에 적합한 오염 수준 계산 과정입니다.

오염 수준 계산

대다수 청정도 표준의 경우 측정된(또는 추정된) 실제 파티클 수가 아닌 추상적인 수치가 표시됩니다. 그 다음, 오염 수준은 각 파티클 크기 등급별로 확인됩니다. 이것은 두 번째 분류 단계이지만, 이번에는 크기에 따라 파티클이 분류되지 않습니다. 그보다 등급은 등급의 파티클 수에 따라 정의됩니다. 이 오염 수준을 통해 때로는 지나치게 단순화되더라도 여러 청정도 측정을 간단하고 빠르게 비교할 수 있습니다.

일반적인 오염 수준은 다음과 같이 표준 ISO 16232에 정의되어 있습니다.

이 오염 등급은 대다수 국제 표준에 정의되어 있습니다. 최대 26개의 개별 수준을 정의할 수 있으며, 각 파티클 크기 등급별로 측정됩니다. 이 오염 수준은 대개 각 크기 등급(예: ISO 16232)에서 비슷하지만(그림 1), 각 등급별로 다르게 정의할 수 있습니다(예: SAE AS4059).

그림 1: ISO 16232 (A)의 오염 수준 예. 오염 수준은 빨간색으로 표시됩니다.
그림 1: ISO 16232 (A)의 오염 수준 예. 오염 수준은 빨간색으로 표시됩니다.

청정도 코드 정의

일부 표준은 측정된 제품 데이터 표현을 간략한 설명으로 단축시켜 줍니다. 이 청정도 코드는 표준에 따라 달라지며, 발견된 파티클의 크기 등급과 오염 수준으로 이뤄집니다. 아래(그림 2)는 ISO 16232 (A)의 청정도 코드 예이며, 여기에는 다음 단계가 포함됩니다.

이 청정도 코드 형태는 ISO 16232 표준에만 해당됩니다. 다른 표준에는 다른 청정도 코드가 정의되어 있습니다. 첫 글자 "A"는 샘플 면적 1000cm2에 대한 정규화를 나타냅니다. 오염 수준이 동일한 인접 등급을 결합할 수 있습니다.

그림 2: ISO 16232 (A)의 청정도 코드 예. 이 예시의 결과 구성 요소 청정도 코드(CCC)는 A(B12/C10/DE8/F3/G2/HIJ00)입니다.
그림 2: ISO 16232 (A)의 청정도 코드 예. 이 예시의 결과 구성 요소 청정도 코드(CCC)는 A(B12/C10/DE8/F3/G2/HIJ00)입니다.

최대값 승인 확인

청정도 검사의 실제 목적은 오염도를 측정하고 선택한 표준에 따라 결과를 설명하는 데 있습니다. 최대값에 대한 승인 및 검사는 선택 사항일 뿐이며 항상 청정도 검사 프로세스에 포함되는 것은 아닙니다.

최대값 한도는 검사 구성에 지정되어 있습니다. 이 값은 파티클의 절대 수치 또는 최대 청정도 코드일 수 있습니다. 이 값은 필터 멤브레인 검사 중에 확인되며 최대 허용 값이 초과되면 즉시 표시됩니다. 작동자는 언제든지 측정 프로세스를 완전히 중지하고 오염 원인을 조사할 수 있습니다.

다음 예(그림 3)는 OLYMPUS CIX 기술 청정도 검사 소프트웨어를 사용하여 작성되었으며, 필터 멤브레인이 스캔되는 동안 진행되는 최대값 승인 테스트를 보여줍니다.

Vanta 그래핀 창
Vanta 그래핀 창

그림 3: 왼쪽 이미지는 모든 결과가 양호한 상태에서 2분 스캔 시간 후 샘플 상태를 보여줍니다. 오른쪽 이미지는 2분 후 스캔 결과를 보여줍니다. 현재 B, H, I 크기 등급의 파티클이 너무 많습니다. 따라서 전체 승인은 "NOK"입니다.

다음 순서에서는 금속 파티클과 비금속 파티클의 분리 및 섬유 식별에 대해 살펴봅니다. 6부작 기술 청정도 워크플로우 분류 블로그 시리즈 중 5부 "반사성/비반사성 파티클 및 섬유 식별"을 다시 확인하십시오.

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Hamish Rossell

제품 응용 프로그램 관리자, 미주 Olympus 주식회사, 과학 솔루션 제품군

2016년부터 Olympus 팀의 일원이었던 Hamish는 미주 전역의 Olympus 산업 현미경 시스템에 대한 제품 및 응용 프로그램 지원을 담당합니다. 그는 기술 청정도와 반도체 장비에 중점을 두고 검사 응용 프로그램, 이미지 분석, 측정 및 보고 뿐만 아니라 맞춤형 광학 솔루션을 담당하는 전문가입니다.