Profilomètres optiques 3D pour la métrologie des surfaces
Des données de surface fiables. Une exactitude que nous prouvons.
Les profilomètres optiques 3D utilisent la mesure sans contact pour capturer des données de surface de haute précision, un instrument idéal pour les pièces fragiles ou complexes dans la science des matériaux, la R&D et le contrôle qualité en fabrication. Les profilomètres optiques 3D Evident posent des jalons dans la mesure de surface de précision, offrant une fiabilité grâce à des détails de surface précis, une exactitude traçable et une automatisation intelligente.
En réunissant la microscopie confocale à balayage laser (LSM), l’interférométrie en lumière blanche (WLI) et la microscopie à variation de mise au point (FVM), nos profilomètres optiques 3D primés offrent des détails de surface fidèles à la forme sur des géométries complexes. Identifiez les caractéristiques subtiles et les variations de surface avec une clarté inégalée : utilisez la LSM, la WLI et la FVM pour détecter les défauts, confirmer les conceptions et prendre des décisions éclairées qui contribuent à améliorer la qualité et le rendement des produits.
Systèmes de profilomètres optiques 3D
LEXT OLS5500
Profilomètre optique 3D hybride
- Mesures de surface traçables à l'échelle nanométrique et micrométrique.
- Microscopie à balayage laser (LSM), interférométrie en lumière blanche (WLI) et microscopie à variation de la mise au point (FVM) sur une seule plateforme primée
- Premier profilomètre optique 3D offrant une précision et une répétabilité garanties* pour les mesures LSM et WLI.
- Le mode WLI offre un débit de mesure jusqu'à 40 fois supérieur au mode LSM conventionnel.
- Précision exceptionnelle sur toutes les surfaces grâce à une optique conçue en interne.
- Interface intuitive et automatisation intelligente pour les utilisateurs de tous niveaux.
- Flux de travail à haut débit et optimisés par l’IA grâce à l’intégration du logiciel PRECiV™
*D'après les recherches internes menées par Evident en octobre 2025. L’exactitude et la répétabilité garanties ne s’appliquent que si l’appareil a été étalonné conformément aux spécifications du fabricant et qu’il est exempt de tout défaut. L’étalonnage doit être effectué par un technicien d’Evident ou un spécialiste agréé par Evident.
Applications et industries du profilomètre optique 3D
Les profilomètres optiques 3D Evident soutiennent un large éventail de secteurs industriels grâce à des mesures de surface exactes et sans contact. Des semi-conducteurs aux polymères, ils fournissent des données fiables pour le contrôle qualité, la recherche et la production sur des matériaux et composants de pointe.
Semi-conducteurs et MEMS
Les profilomètres optiques 3D sont l'instrument idéal pour l'inspection des plaquettes de semi-conducteurs et des composants MEMS. Ils permettent de mesurer avec précision la rugosité de la surface des plaquettes, la hauteur des inégalités et la largeur des lignes des motifs fins. Ces outils permettent également de détecter les microfissures et la contamination en surface sans endommager les éléments fragiles.
Image WLI d'une plaquette de carbure de silicium (SiC).
Image WLI d’un circuit imprimé.
Électronique
Dans la fabrication électronique, les profilomètres optiques 3D aident les utilisateurs à surveiller la rugosité de surface des pistes de cuivre et à identifier les fissures ou les défauts sur les circuits imprimés (PCB). La méthode sans contact garantit une analyse fiable des surfaces complexes et sensibles.
Polymères et composites
Les profilomètres optiques 3D sont utilisés pour mesurer l’épaisseur des films transparents, analyser la rugosité des surfaces et détecter les défauts dans les films polymères et les matériaux composites. Leur imagerie 3D haute résolution est particulièrement précieuse pour la caractérisation des matériaux stratifiés ou mous.
Image LSM d'un film polymère.
Image LSM d'une bille de roulement.
Métaux et alliages
La profilométrie optique 3D offre une analyse rapide et sans contact de la rugosité des surfaces et de la taille des grains dans les métaux et les alliages. Elle soutient les processus de contrôle qualité en capturant des données topographiques détaillées qui aident à évaluer l'usure, la finition et l'homogénéité des matériaux.
Comparaison des techniques de métrologie de surface
Chaque technique de métrologie de surface en profilométrie optique 3D offre des avantages uniques pour explorer la forme, la texture et les détails précis de vos échantillons.
Microscopie à balayage laser (LSM)
Cette méthode offre une haute résolution dans les directions horizontale et verticale et permet d'obtenir des mesures équilibrées.
Convient pour mesurer les textures de surface fines, de l’échelle sous-micronique à plusieurs centaines de microns.
Les formes présentant des angles prononcés peuvent également être mesurées.
Interférométrie à lumière blanche (WLI)
Convient aux surfaces lisses et inclinées et à la mesure d'inégalités de l'ordre du nm.
Des performances constantes de mesure de hauteur peuvent être obtenues à n'importe quel grossissement de l'objectif.
Microscopie à variation de mise au point (FVM)
Convient pour capturer la forme macroscopique de l'échantillon.
La combinaison de la microscopie à variation de mise au point (FVM) avec la microscopie à balayage laser (LSM) ou l'interférométrie en lumière blanche (WLI) permet l'acquisition de formes allant des macrostructures aux microstructures.
Pourquoi choisir les profilomètres optiques 3D EVIDENT ?
Savoir-faire optique éprouvé
Fruit d'un siècle d'excellence optique, les éléments optiques Evident conçus dans nos locaux offrent une clarté inégalée pour révéler les véritables détails de surface, quelle que soit la géométrie : zones planes, motifs irréguliers, pentes abruptes et textures fines. Des objectifs dédiés à la microscopie laser et des objectifs WLI à ouverture numérique élevée permettent d'obtenir une imagerie haute fidélité, tandis que les options d'amélioration du contraste révèlent des détails subtils ou cachés.
À gauche : Avec des objectifs conventionnels, la distorsion augmente en périphérie et affecte l'exactitude des mesures. À droite : Avec les objectifs LEXT, la périphérie est reproduite sans distorsion pour des mesures précises.
Imagerie du boîtier RF réalisée à l'aide de trois techniques de métrologie de surface.
Solution d'imagerie complète
Technologie hybride combinant trois techniques de métrologie de surface - la microscopie à balayage laser (LSM), l’interférométrie à lumière blanche (WLI) et la microscopie à variation de mise au point - pour une résolution nanométrique sur des pentes abruptes et des caractéristiques « aspect-ratio » élevées. Mesurez tout échantillon, du nm au mm ou de plat à accidenté, avec la WLI (vertical), la LSM (latéral) et la FVM (macro à micro), sur une plateforme facile à utiliser.
Mesure sans contact et traçable
C’est la lumière, et non le contact physique, qui capture les données de surface. Les profilomètres optiques 3D Evident sont donc parfaits pour les matériaux fragiles, les revêtements minces et les dispositifs MEMS. Contrairement aux profilomètres à stylet, ils éliminent le risque d'endommagement de la surface. Toutes les mesures sont validées par notre processus d'étalonnage traçable, garantissant des résultats que vous pouvez défendre lors d'audits, de rapports et de revues de production. Notre Evident LEXT™ OLS5500 garantit des niveaux d'émissions sonores* conformes à la norme ISO 25178-700:2022 (1 nm avec les objectifs MPLAPON 100X LEXT™ et 0,08 nm avec les objectifs WLI) pour une détection haute résolution des changements topographiques subtils.
Exemple de diagramme du système de traçabilité selon le standard AIST.
*Vous recevrez un certificat de garantie sur les émissions sonores. Il s’agit d’une valeur représentative mesurée dans les conditions spécifiées par Evident et différente de la valeur garantie.
* L’exactitude et la répétabilité garanties ne s’appliquent que si l’appareil a été étalonné conformément aux spécifications du fabricant et qu’il est exempt de tout défaut. L’étalonnage doit être effectué par un technicien d’Evident ou un spécialiste agréé par Evident.
Exactitude et répétabilité garanties
Obtenez des mesures cohérentes et de haute précision pour toutes vos applications de métrologie de surface grâce au premier profilomètre optique 3D au monde qui garantit l'exactitude et la répétabilité* des mesures LSM et WLI : l’Evident LEXT™ OLS5500. Nos profilomètres optiques 3D garantissent que chaque surface peut être mesurée clairement et précisément, avec un étalonnage vérifiable et des enregistrements horodatés.
Haut débit avec automatisation
Un logiciel intuitif et une automatisation intelligente permettent d'obtenir des résultats rapides, fiables et répétables à grande échelle. Les platines motorisées, les macros, l’imagerie de grandes surfaces sans couture et l’analyse par lots permettent de réduire la charge de travail de l’opérateur et d’accélérer le contrôle qualité. Le mode WLI de l’OLS5500 accroît cette efficacité, offrant un débit de mesure 40 fois plus rapide que la microscopie à balayage laser conventionnelle.
Automatisez les inspections grâce aux macros : créer, modifier et exécuter des procédures pour obtenir des résultats fiables.
Allez plus loin en métrologie 3D avec le logiciel PRECiV.
Écosystème logiciel avancé
Analyse intuitive avec paramètres de rugosité automatiques (normes ISO, JIS), visualisation 3D et génération de rapports. L'intégration du logiciel PRECiV™ ajoute la métallographie de routine, des flux de travail avec assistance IA et une analyse 2D avancée pour prendre en charge les applications spécialisées et les environnements de production à haut débit.
Comment fonctionnent les profilomètres optiques ?
Le profilomètre optique 3D LEXT OLS5500 dispose de deux systèmes optiques, l’imagerie couleur et l'optique confocale laser, qui lui permettent d’acquérir des informations sur la couleur et la forme ainsi que des images haute résolution.
Imagerie couleur
Le système optique d’imagerie couleur acquiert des informations à l’aide d’une source de lumière LED à lumière blanche et d’un capteur d’image CMOS. Cela permet une reproduction fidèle des couleurs et une visualisation claire des caractéristiques de la surface.
Informations sur les formes 3D et images haute résolution
Les optiques confocales laser acquièrent des images LSM à l’aide d’une source lumineuse à diode laser de 405 nm et d’un photomultiplicateur ultrasensible. En WLI, la hauteur est déterminée à partir des franges d'interférence générées lorsque la lumière d'une source blanche est divisée par un séparateur de faisceau à l'intérieur de la lentille de l'objectif et réfléchie à la fois par la surface de l'échantillon et une surface de référence. La FVM détermine la hauteur en identifiant la position Z où le contraste de l'image est maximal.
FAQ sur les profilomètres optiques 3D
Ressources sur les profilomètres optiques 3D
Portail dédié aux mesures de rugosité de surface
Parcourez notre portail de mesure de la rugosité de surface pour découvrir des informations et des outils permettant de quantifier avec précision la texture microscopique des surfaces.
Paramètres de mesure de la rugosité d'une surface
De la méthode du profil à la méthode surfacique, explorez les principaux paramètres de rugosité pour comprendre et quantifier avec précision la texture des surfaces.
Comment évaluer les paramètres de mesure de la rugosité de surface
Découvrez des techniques pratiques pour interpréter les principaux paramètres de rugosité de surface dans l’analyse de texture 3D.