반도체 웨이퍼 및 디스플레이 검사 장비
Evident 반도체 웨이퍼 및 평판 디스플레이 검사 현미경은 최고 수준의 효율성을 달성하여 빠른 시동 시간, 간편한 작동, 결함 분석 및 사용자를 위한 확장성을 제공합니다.
Evident가 엄선한 반도체 검사 현미경은 웨이퍼의 안전한 이송을 위해 설계되어 반도체 결함 검사에 적합합니다. 자동 웨이퍼 처리 시스템뿐만 아니라 디지털 현미경은 반도체 내의 미세한 결함을 자세히 분석하는 데 활용할 수 있습니다.
아래에서 Evident의 모든 평판 디스플레이 및 반도체 검사 현미경을 살펴보세요.
반도체 웨이퍼 검사 현미경
MX63 / MX63L
MX63 및 MX63L 현미경 시스템은 300mm 웨이퍼의 고품질 검사에 최적화되어 있습니다. 평판 디스플레이, 회로 기판 및 기타 대형 샘플과 호환되는 모듈식 설계 덕분에 응용 분야에 맞게 시스템을 조정하는 데 필요한 구성 요소를 선택할 수 있습니다.
반도체 및 평판 디스플레이 검사 장비
현미경용 디지털카메라
Evident 디지털 현미경 카메라를 사용하면 샘플의 고품질 이미지를 촬영할 수 있습니다. 고해상도와 탁월한 색 충실도를 제공하는 Evident의 카메라는 선명하고 생생한 이미지를 전체 해상도로 보여주므로 샘플을 선명하게 관찰하고 실시간으로 초점을 조정할 수 있습니다.
관련 애플리케이션
웨이퍼 샘플의 회로 패턴 검사
웨이퍼 샘플의 회로 패턴과 색상을 모두 현미경으로 관찰해야 하는 경우, 일반적인 방법에서 전자의 경우 암시야 조명이 필요하고 후자의 경우 명시야 조명이 필요하여 두 방법을 반복적으로 전환해야 합니다. 이 관찰 방법은 보고서를 생성할 때 각 방법에 필요한 이미지를 획득해야 하므로 시간이 많이 소요됩니다.
에칭된 탄화규소(SiC) 웨이퍼의 결함 감지
탄화규소(SiC)는 첨단 회로의 기술적, 물리적 속성을 구성하는 데 사용되므로 반도체 산업에서 중요한 재료입니다. SiC 장치는 향상된 효율성, 전력 밀도 및 신뢰성을 제공하여 전기차, 재생 에너지 시스템, 산업용 드라이브 등 여러 산업에서 전기 전자 분야에 혁명을 일으키고 있습니다.
자동화된 마이크로일렉트로닉스 제조에 현미경 통합
전자 장치의 마이크로일렉트로닉스 구성 요소는 스마트폰, 스마트홈, 스마트카 등 일상생활의 일부가 되었습니다.지능형 광학 센서와 이미터 그리고 해당 로직과 메모리 모듈로 제작되는 이러한 고급 구성 요소에는 취급 및 품질 관리에 특별한 주의를 기울인 고도의 생산 시설이 필요합니다.따라서 반도체 웨이퍼 생산 공정은 대부분 자동화되어 있습니다.그러나 일부 생산 공정은 제어된 클린룸 환경에서 현미경 같은 수동 검사 프로세스로 보완됩니다.
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웨이퍼 샘플에 대한 회로 패턴 검사
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