半導体ウェーハおよびディスプレイ検査機器
Evidentの半導体ウェハ / FPD検査顕微鏡は、高速起動、使いやすさ、不具合分析、拡張性を提供し、高いレベルでの効率化を実現します。
当社の半導体検査顕微鏡ラインアップは、ウェハの安全に搬送するように設計されており、半導体の欠陥検査に最適です。自動ウェハ処理システムに加えて、半導体内部の小さな欠陥の詳細な解析にはデジタルマイクロスコープも選択できます。
半導体 / FPD検査顕微鏡のラインアップを以下でご覧ください。
半導体ウェハ検査用顕微鏡
MX63 / MX63L
MX63およびMX63Lは、最大300mmサイズのウェハや液晶パネル、電子基板などのサンプルが検査できる大型の顕微鏡です。FPD、回路基板、その他の大型サンプルに対応するモジュール式設計により、用途に合わせて必要なコンポーネントを選択できます。
半導体 / FPD検査機器
顕微鏡用デジタルカメラ
当社の顕微鏡用デジタルカメラにより、サンプルを高画質で撮影できます。高い分解能と優れた色再現力を備えた当社のカメラは、鮮明なライブ画像をフル解像度で表示し、明確な観察とリアルタイムフォーカスを可能にします。
半導体ウェハ検査のその他の資料
ウェハ検査向けに顕微鏡とワークフローを最適化
半導体ウェハ製造業者のウェハ検査品質管理を、機器とワークフローの最適化によって改善する方法についてご説明します。
電子機器および半導体検査用の近赤外線イメージングの機能
当社の検査用顕微鏡によって、半導体検査の近赤外線イメージングがどのように強化されるかについてご説明します。
ウェハサンプル上の回路パターン検査
当社の半導体 / FPD検査向けMX63/MX63L顕微鏡が、従来のウェハサンプル観察法に代わる効率的な方法をどのように実現しているかについてご説明します。