白色干渉計搭載 3D測定レーザー顕微鏡
信頼できる表面解析
確かな測定精度
レーザー顕微鏡は、非接触・非破壊で微細な表面性状を高精度に測定できるため、研究開発から品質保証・品質管理まで、解析業務を強力にサポートします。
LEXT OLS5500は、高精細イメージング、国家標準にトレーサブルな信頼性の高い測定精度、そしてスマートな自動化機能を備え、微細三次元形状測定における新たな業界標準を確立します。
OLS5500は、レーザー顕微鏡・白色干渉計・フォーカスバリエーションの3つの測定技術を1台に統合し、nmからmmまで、平滑面から粗面まで幅広いサンプルを解析可能です。微細な特徴や表面変化を鮮明に捉え、欠陥検出、設計検証、品質改善に向けた確実な意思決定を支援します。
白色干渉計搭載 3D測定レーザー顕微鏡
LEXT OLS5500
白色干渉計搭載 3D測定レーザー顕微鏡
- ナノからサブミクロンまでのトレーサブルな高精度測定
- レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションの3つの機能を1台に搭載
- レーザー顕微鏡および白色干渉計の双方で「正確さ」と「繰り返し性」を保証する世界初*のハイブリッドシステム
- 白色干渉計では、従来のレーザー顕微鏡と比べて最大40倍の測定スループットを実現
- 自社設計の光学技術により、あらゆる表面解析において信頼性の高い測定が可能
- 直感的なインターフェースとスマートなワークフローにより、観察から測定までの一連の業務を効率化
- PRECiV™ソフトウェアによる専門的な解析アプリケーションにも対応可能
*2025年10月時点、当社調べによる。「正確さ」および「繰り返し性」の保証は、装置がメーカー仕様に基づいて適切に校正された場合に限り有効です。校正は、エビデントの技術者または当社認定の技術者によって実施する必要があります。
アプリケーション事例
OLS5500は、高精度な非接触表面測定により、幅広いアプリケーションでご使用いただけます。半導体・電子部品からフィルムなどの化学素材まで、最先端技術の研究・開発、品質管理に必要な信頼性の高い測定を提供します。
半導体・MEMS
ウェハの表面粗さ、微細パターンの線幅や高さ、さらにはコンタミの大きさまで正確に測定できます。非接触測定により、サンプルを傷つけることなく微細な欠陥や異物を確実に検出します。
SICウエハ
プリント基板
電子部品
プリント基板上のパターン配線や欠陥、銅箔の表面粗さを測定できます。金属バンプなど角度を持った複雑な3D形状も、高精度なイメージングソリューションにより正しく捉えることができます。
化学素材
フィルムの表面粗さや傷、膜の厚みを測定することができます。サンプルが透明な場合でも、最表面の形状を正確に捉えることが可能です。
また、非接触測定により、触針式表面粗さ測定機では測定が困難な柔らかい素材や粘着素材も解析できます。
ポリマーフィルム
ベアリングボール
金属材料・加工部品
金属材料の表面粗さ、結晶粒径、加工部品の形状を高精度に測定できます。部品の摩耗や仕上げ状態を評価し、加工品質を確実に管理することができます。
表面形状測定技術の比較
LEXT™ OLS5500に搭載された各種表面形状測定技術は、サンプルの形状や微細な表面性状の観察・測定において、それぞれ独自の強みを発揮します。
レーザー共焦点
平面及び垂直方向ともに高分解能の測定が可能です。サブミクロンから数百ミクロンまでの微細な表面性状の形状取得に適しており、急峻な斜面形状も検出できます。
フォーカスバリエーション
凹凸の大きい立体形状を短時間で測定することが可能です。サンプル全体のマクロ形状取得に適しており、レーザー顕微鏡や白色干渉計と組み合わせることで、マクロからミクロまでの形状取得ができます。
エビデントのLEXT OLS5500が選ばれる理由
確かな実績に基づいた光学技術
1世紀ににわたる光学の専門知識を結集したEvident独自設計の光学系が、平坦面から急斜面、複雑なパターンや微細な質感まで、あらゆる形状のディテールを鮮明に再現します。専用レーザー顕微鏡対物レンズと高NA WLI対物レンズにより、高精度なイメージングを実現。さらに、コントラスト強調オプションで、微妙な差異や隠れた特徴も鮮やかに可視化します。
左：一般のレンズは収差の影響で周辺部が正確に測定できない。
右： LEXT 専用レンズは周辺部も正確に測定できる。
3つの表面計測技術で撮像されたRFパッケージ。
完全なイメージングソリューション
レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションの3つの表面形状測定技術を統合したハイブリッドテクノロジーにより、急峻な傾斜や高アスペクト比構造でもナノメートルレベルの分解能を実現します。白色干渉計（垂直方向）、レーザー顕微鏡（平面方向）、フォーカスバリエーション（凹凸の大きい立体形状）、それぞれの特長を組み合わせることで、nmからmm、平滑面から凹凸のある粗面まで、あらゆるサンプルを1台で測定可能です。
非接触かつトレーサブルな測定
エビデントのレーザー顕微鏡は、非接触で表面性状データを取得します。そのため、繊細な素材、薄膜コーティング、MEMSデバイスなど、傷を付けたくないサンプルの測定に最適です。触針式の測定機とは異なり、表面損傷の心配はありません。
さらに、2023年4月、エビデント 顕微鏡校正ラボラトリは世界で初めて*レーザー顕微鏡の現地校正でISO/IEC 17025：2017認定をJAB(日本適合性認定協会)から受けました。これによりILAC・MRAシンボルマーク付き校正証明書を発行し、計量トレーサビリティを確保することが可能となりました。 認定取得以前から実施している当社独自基準による現地校正も可能です。
*2023年4月時点、当社調べによる。
*「正確さ」および「繰り返し性」の保証は、装置がメーカー仕様に基づいて適切に校正された場合に限り有効です。校正は、エビデントの技術者または当社認定の技術者によって実施される必要があります。
“正確さ”・“繰り返し性”のダブル保証
OLS5500は、レーザー顕微鏡と白色干渉計の両方で、「正確さ」と「繰り返し性」*を保証する世界初の白色干渉計搭載3D測定レーザー顕微鏡です。エビデントの専門技術者が設置環境での校正を行い、校正証明書を発行します。
また、ISO 25178-700:2022に準拠した測定ノイズレベルを保証し、ナノレベルの高さも、確かな測定を提供します。
MPLAPON100X LEXT ™対物レンズでは1nm、白色干渉対物レンズでは0.08nmという極めて低いノイズレベルを達成し、微細な凹凸や形状変化も高精度に捉えます。
誰でもすぐに、スマートに測定
直感的なソフトウェアとスマートな自動化により、繰り返し行う測定も効率化。解析手順や測定者間でのばらつきを防ぎ、信頼性の高い結果を得られます。
電動ステージ、シームレスな貼り合わせによる広範囲の測定、マクロ機能、テンプレート機能により、操作者の負担を軽減します。
さらに、OLS5500の白色干渉計モードは従来のレーザー顕微鏡に比べて、最大40倍の測定スループットを実現し、効率性を一段と高めることができます。
マクロによる測定自動化: 繰り返し測定の手順を作成して実行することで、信頼性の高い結果を効率的に得られます。
PRECiVソフトウェアとの連携により、測定の幅が広がります。
3D測定の可能性をさらに広げる
高度なソフトウェア
ISOやJIS規格に準拠した粗さパラメータをはじめ、各種2D/3D測定機能、レポート作成など、直感的に操作できる解析ソフトウェアを搭載。
さらに、PRECiV™ソフトウェアとの連携により、金属組織観察からAIを活用したワークフロー、高度な2D解析まで対応。専門的なアプリケーションや高スループットが求められる生産現場でも、柔軟かつ高効率な運用をサポートします。
LEXT OLS5500の基本原理
LEXT™ OLS5500は、カラー撮像光学系とレーザー共焦点（コンフォーカル）光学系の2系統の光学系を備えており、色情報、形状情報と高精細画像を同時に取得することが可能です。
色情報の取得
カラー撮像光学系では、白色LED光源とCMOSカメラを用いて色情報を取得します。これにより、色の再現性に優れ、表面の特徴を鮮明に可視化することが可能です。
3D形状の取得
レーザー共焦点光学系は、405nmの半導体レーザー光源と高感度光電子増倍管（フォトマルチプライヤー）を用いて共焦点画像を取得します。白色干渉法では、では、、白色光源からの光が対物レンズ内のビームスプリッターによって分割され、サンプル表面と参照面の両方から反射されたときに生成される干渉縞から高さ情報を取得します。フォーカスバリエーションでは、画像のコントラスト値を用いて高さ情報を取得します。
FAQ
一方、光学式は光のプローブを用いて非接触で測定します。光学式は測定スピードが速く、柔らかい材料や粘着素材など、触針式では測定が難しいサンプルでも測定が可能です。
一方、触針式はシンプルなラインプロファイル測定に適しており、設置環境の振動など外乱の影響を受けにくい耐久性があります。
特に面での三次元測定では高い垂直分解能を有しており、データ取得スピードも速く、サンプルを傷つける心配がありません。ただし、正確な測定結果を得るには装置の適切なメンテナンスと、サンプルに合わせた測定条件の設定が重要です。
特に、厳密な品質管理が必要な場合には、設置環境下で校正された装置を用いることで、信頼性の高い測定結果を得ることが可能です。
